一种基于邻域的变形镜电压保护方法及变形镜系统

    公开(公告)号:CN109375366B

    公开(公告)日:2021-03-23

    申请号:CN201811561997.2

    申请日:2018-12-20

    Abstract: 本发明公开了一种基于邻域的变形镜电压保护方法及变形镜系统,所述方法,包括:步骤1,计算驱动单元及其邻域的电压平均值;步骤2,判断在所述驱动单元及其邻域中的相邻的两个驱动单元的电压差是否超过保护阈值;若超过保护阈值,则调整相邻的两个驱动单元的电压向所述电压平均值靠近,使相邻的两个驱动单元的电压差小于或等于保护阈值。本发明以驱动单元及其邻域的电压平均值为参考点,按比例向电压平均值缩小到使其相邻的驱动单元的电压差等于变形镜的保护阈值,实现保护变形镜的目的,从而安全、快速、精确地控制变形镜镜面变形。

    一种主动冷却型一维波面校正装置

    公开(公告)号:CN103728723A

    公开(公告)日:2014-04-16

    申请号:CN201410003830.X

    申请日:2014-01-06

    Abstract: 本发明公开了一种主动冷却型一维波面校正装置,包括底座、驱动器和镜片,所述底座顶部设置有冷却腔,冷却腔一端设置进水口、另一端设置出水口;所述冷却腔的底部设置有通孔,所述驱动器设置在底座上并穿过冷却腔底部的通孔与盖在冷却腔上的镜片粘结。冷却物质从冷却板底部水嘴流入,从顶部水嘴流出,在冷却腔中冷却物质与镜片充分进行热交换,从而实现主动冷却。当哈特曼探测到条形光斑长度方向波面起伏时,给对应的驱动器通过接插件加载相应的电压或电流,驱动器带动镜面上下运动,镜片的镜面产生形变,从而实现对波面面形的一维校正。

    一种基于邻域的变形镜电压保护方法及变形镜系统

    公开(公告)号:CN109375366A

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201811561997.2

    申请日:2018-12-20

    Abstract: 本发明公开了一种基于邻域的变形镜电压保护方法及变形镜系统,所述方法,包括:步骤1,计算驱动单元及其邻域的电压平均值;步骤2,判断在所述驱动单元及其邻域中的相邻的两个驱动单元的电压差是否超过保护阈值;若超过保护阈值,则调整相邻的两个驱动单元的电压向所述电压平均值靠近,使相邻的两个驱动单元的电压差小于或等于保护阈值。本发明以驱动单元及其邻域的电压平均值为参考点,按比例向电压平均值缩小到使其相邻的驱动单元的电压差等于变形镜的保护阈值,实现保护变形镜的目的,从而安全、快速、精确地控制变形镜镜面变形。

    一种波面离焦校正装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105700127A

    公开(公告)日:2016-06-22

    申请号:CN201610277908.6

    申请日:2016-04-29

    CPC classification number: G02B26/06

    Abstract: 本发明提供了一种波面离焦校正装置,该方案包括有镜片、冷却腔、驱动器、水管、底座、进水口、出水口和支座;镜片粘结在冷却腔上;驱动器一端与镜片连接,另一端与底座固定连接;水管的一端与冷却腔连接,另一端与底座固定连接;底座固定在支座上;支座上设置有进水孔和出水孔;水管的进水口和出水口与支座上的进水孔和出水孔一一对应。该方案可以根据应用需求对驱动器加载不同载荷,镜面在驱动器的作用下上下运动,使镜面发生形变,从而矫正波面离焦,同时,该方案能够减小镜片上的热沉积引起的热畸变对面形的影响,避免引入不必要的额外像差。

    一种主动冷却型一维波面校正装置

    公开(公告)号:CN103728723B

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201410003830.X

    申请日:2014-01-06

    Abstract: 本发明公开了一种主动冷却型一维波面校正装置,包括底座、驱动器和镜片,所述底座顶部设置有冷却腔,冷却腔一端设置进水口、另一端设置出水口;所述冷却腔的底部设置有通孔,所述驱动器设置在底座上并穿过冷却腔底部的通孔与盖在冷却腔上的镜片粘结。冷却物质从冷却板底部水嘴流入,从顶部水嘴流出,在冷却腔中冷却物质与镜片充分进行热交换,从而实现主动冷却。当哈特曼探测到条形光斑长度方向波面起伏时,给对应的驱动器通过接插件加载相应的电压或电流,驱动器带动镜面上下运动,镜片的镜面产生形变,从而实现对波面面形的一维校正。

Patent Agency Ranking