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公开(公告)号：CN103728723A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201410003830.X
申请日：2014-01-06
Applicant: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明公开了一种主动冷却型一维波面校正装置，包括底座、驱动器和镜片，所述底座顶部设置有冷却腔，冷却腔一端设置进水口、另一端设置出水口；所述冷却腔的底部设置有通孔，所述驱动器设置在底座上并穿过冷却腔底部的通孔与盖在冷却腔上的镜片粘结。冷却物质从冷却板底部水嘴流入，从顶部水嘴流出，在冷却腔中冷却物质与镜片充分进行热交换，从而实现主动冷却。当哈特曼探测到条形光斑长度方向波面起伏时，给对应的驱动器通过接插件加载相应的电压或电流，驱动器带动镜面上下运动，镜片的镜面产生形变，从而实现对波面面形的一维校正。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106926085A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201710290996.8
申请日：2017-04-28
Applicant: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
IPC: B24B13/005 , B24B13/01
Abstract: 本发明提供了一种长条形悬臂支撑薄镜片抛光装置，该方案包括有基底、混合体、陪磨片、长条形薄镜片、磨盘、砝码和支架；混合体设置在基底上；陪磨片和长条形薄镜片固定在混合体上；磨盘固定在支架一端并且置于陪磨片和长条形薄镜片上方；砝码放置在支架上。该方案采用混合体对长条形薄镜片进行固定，并且设置陪磨片和薄镜片组合的拼装结构起到磨大面取小面的效果，保证有效区域获得高精度面形；采用砝码进行压力调节，当与镜面面形有关的磨盘、支架、混合体以及陪磨片和薄镜片组合拼装结构的匹配关系调节到适当的程度的时候，可以获得很高的面形精度，拆卸混合体之后，面形将会保持不变，从而实现悬臂支撑薄镜片的高精度面形抛光。
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公开(公告)号：CN106926085B
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201710290996.8
申请日：2017-04-28
Applicant: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
IPC: B24B13/005 , B24B13/01
Abstract: 本发明提供了一种长条形悬臂支撑薄镜片抛光装置，该方案包括有基底、混合体、陪磨片、长条形薄镜片、磨盘、砝码和支架；混合体设置在基底上；陪磨片和长条形薄镜片固定在混合体上；磨盘固定在支架一端并且置于陪磨片和长条形薄镜片上方；砝码放置在支架上。该方案采用混合体对长条形薄镜片进行固定，并且设置陪磨片和薄镜片组合的拼装结构起到磨大面取小面的效果，保证有效区域获得高精度面形；采用砝码进行压力调节，当与镜面面形有关的磨盘、支架、混合体以及陪磨片和薄镜片组合拼装结构的匹配关系调节到适当的程度的时候，可以获得很高的面形精度，拆卸混合体之后，面形将会保持不变，从而实现悬臂支撑薄镜片的高精度面形抛光。
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公开(公告)号：CN103728723B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201410003830.X
申请日：2014-01-06
Applicant: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明公开了一种主动冷却型一维波面校正装置，包括底座、驱动器和镜片，所述底座顶部设置有冷却腔，冷却腔一端设置进水口、另一端设置出水口；所述冷却腔的底部设置有通孔，所述驱动器设置在底座上并穿过冷却腔底部的通孔与盖在冷却腔上的镜片粘结。冷却物质从冷却板底部水嘴流入，从顶部水嘴流出，在冷却腔中冷却物质与镜片充分进行热交换，从而实现主动冷却。当哈特曼探测到条形光斑长度方向波面起伏时，给对应的驱动器通过接插件加载相应的电压或电流，驱动器带动镜面上下运动，镜片的镜面产生形变，从而实现对波面面形的一维校正。
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公开(公告)号：CN105137775B
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201510455037.8
申请日：2015-07-30
Applicant: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
Abstract: 本发明提供了一种压电陶瓷预紧力及位移在线调节与测试装置的技术方案，该方案包括有夹具A、夹具B、压电陶瓷、夹具C、力传感器、推力装置、固定座、位移测试装置、接触头、底座、滑动座；固定座固定在底座的一端；滑动座安装在底座的中部；夹具A安装在固定座上；夹具B固定在夹具A上；压电陶瓷固定在夹具B中；滑动座的底部安装有位移测试装置；滑动座的顶部固定有夹具C；夹具C上靠近固定座的一侧安装有接触头；接触头与压电陶瓷接触。该方案能够在线调节压电陶瓷的预紧力，测试输出位移，即可绘制出预紧力‑位移曲线，实现高精度测试与调节。其测试过程简单，测量精度高，系统误差小。
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公开(公告)号：CN105137775A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510455037.8
申请日：2015-07-30
Applicant: 中国工程物理研究院应用电子学研究所
CPC classification number: G05B15/02 , G01D21/02 , G05B2219/2604
Abstract: 本发明提供了一种压电陶瓷预紧力及位移在线调节与测试装置的技术方案，该方案包括有夹具A、夹具B、压电陶瓷、夹具C、力传感器、推力装置、固定座、位移测试装置、接触头、底座、滑动座；固定座固定在底座的一端；滑动座安装在底座的中部；夹具A安装在固定坐上；夹具B固定在夹具A上；压电陶瓷固定在夹具B中；滑动座的底部安装有位移测试装置；滑动座的顶部固定有夹具C；夹具C上靠近固定座的一侧安装有接触头；接触头与压电陶瓷接触。该方案能够在线调节压电陶瓷的预紧力，测试输出位移，即可绘制出预紧力-位移曲线，实现高精度测试与调节。其测试过程简单，测量精度高，系统误差小。
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