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公开(公告)号:CN109473418B
公开(公告)日:2020-08-21
申请号:CN201811210694.6
申请日:2018-10-17
Applicant: 中南大学
IPC: H01L23/52 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种铜互连功能微结构,上铜片和下铜片,以及涂覆在上铜片和下铜片之间的纳米银浆;其中,上铜片与下铜片相交的两个表面上分布有均匀的周期性锥形结构;所述周期性锥形结构的锥体高度为52~58μm;相邻锥体间的中心距为55~60μm。本发明还提供一种铜互连功能微结构,包括:将超快激光入射在铜片表面上,控制超快激光光束在铜片表面进行网状扫描,形成周期性锥形微结构;在处理后的两片铜片表面涂覆一层纳米银浆后相扣,施加压力后保温保压,得到铜互连功能微结构。本发明的方法操作简单,制备得到的铜互连功能微结构的剪切强度有很大提高。
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公开(公告)号:CN116447967A
公开(公告)日:2023-07-18
申请号:CN202310425628.5
申请日:2023-04-20
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏与高线性协同的仿生柔性应变传感器及其制造方法,所述应变传感器从下往上依次为柔性基体、导电功能层以及电极;所述柔性基体近所述导电功能层的一表面分布有褶皱结构;所述导电功能层由多层不同材料层堆栈形成。本发明采用模板法制备具有褶皱结构的柔性基体。当仿生柔性传感器受到外部应力或者应变时,传感器本身表面褶皱结构的尺寸和形状发生了改变,这种微形变会产生微裂纹,导致传感本身电学性能的变化。微裂纹和褶皱结构的组合为具有大应变拉伸能力的仿生传感器带来了高灵敏度和高线性特征。本发明的传感器具有高灵敏、高线性以及大应变特性。
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公开(公告)号:CN109473418A
公开(公告)日:2019-03-15
申请号:CN201811210694.6
申请日:2018-10-17
Applicant: 中南大学
IPC: H01L23/52 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种铜互连功能微结构,上铜片和下铜片,以及涂覆在上铜片和下铜片之间的纳米银浆;其中,上铜片与下铜片相交的两个表面上分布有均匀的周期性锥形结构;所述周期性锥形结构的锥体高度为52~58μm;相邻锥体间的中心距为55~60μm。本发明还提供一种铜互连功能微结构,包括:将超快激光入射在铜片表面上,控制超快激光光束在铜片表面进行网状扫描,形成周期性锥形微结构;在处理后的两片铜片表面涂覆一层纳米银浆后相扣,施加压力后保温保压,得到铜互连功能微结构。本发明的方法操作简单,制备得到的铜互连功能微结构的剪切强度有很大提高。
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公开(公告)号:CN110014224B
公开(公告)日:2020-05-01
申请号:CN201910402209.3
申请日:2019-05-14
Applicant: 中南大学
IPC: B23K26/00 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/073 , B23K26/70 , B81C1/00
Abstract: 本发明提供了一种飞秒激光高效率制造红外增透微结构的装置,包括:飞秒激光器、光束整形单元、光学变焦系统、在线监测单元和工件加工平台,飞秒激光器产生超短脉冲光束,超短脉冲光束通过光束整形单元产生长焦深、小直径光斑的激光光束,并通过所述光学变焦系统将所述整形后的激光光束等比例缩小成光束焦点,同时通过在线监测单元反馈的在线加工所观测的加工情况及时调整装置参数,保证加工的精确度;利用本发明的装置通过所述工件加工平台与所述光束焦点相对运动的方法实现加工。本发明能突破红外增透微结构加工制造低效率的瓶颈,使增透率明显提升,且工艺成本较低。
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公开(公告)号:CN118970090A
公开(公告)日:2024-11-15
申请号:CN202411055594.6
申请日:2024-08-02
Applicant: 中国电子科技集团公司第十研究所 , 中南大学
IPC: H01M8/0276 , H01M8/0286 , H01M8/0282 , B23K26/364
Abstract: 本申请公开了一种固体燃料电池低温密封结构及其密封方法,涉及固体燃料电池技术领域。一种固体燃料电池低温密封结构,包括电池片、金属连接体、镀膜层以及密封层,上述电池片,以及上述金属连接体靠近上述密封层的表面均设置有封接结构阵列。其方法通过利用飞秒激光的手段,依照独特的纵向以及横向的运动路径,分别在电池片以及金属连接体上制备得到封接结构阵列其能够显著降低固体燃料电池密封过程所需的温度,从而避免氧化以及密封剂对电极材料的腐蚀;同时其能够有效提高密封界面强度,得到稳定性好,性能优异的电池产品,推广应用价值高,更有利于工业化生产。
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公开(公告)号:CN110014224A
公开(公告)日:2019-07-16
申请号:CN201910402209.3
申请日:2019-05-14
Applicant: 中南大学
IPC: B23K26/00 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/073 , B23K26/70 , B81C1/00
Abstract: 本发明提供了一种飞秒激光高效率制造红外增透微结构的装置,包括:飞秒激光器、光束整形单元、光学变焦系统、在线监测单元和工件加工平台,飞秒激光器产生超短脉冲光束,超短脉冲光束通过光束整形单元产生长焦深、小直径光斑的激光光束,并通过所述光学变焦系统将所述整形后的激光光束等比例缩小成光束焦点,同时通过在线监测单元反馈的在线加工所观测的加工情况及时调整装置参数,保证加工的精确度;利用本发明的装置通过所述工件加工平台与所述光束焦点相对运动的方法实现加工。本发明能突破红外增透微结构加工制造低效率的瓶颈,使增透率明显提升,且工艺成本较低。
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