公开(公告)号：CN110014224A

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201910402209.3

申请日：2019-05-14

Applicant: 中南大学

Inventor： 段吉安 ,  王浩然 ,  王聪 ,  张帆 ,  丁铠文 ,  吴碧微

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  B23K26/064 ,  B23K26/073 ,  B23K26/70 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明提供了一种飞秒激光高效率制造红外增透微结构的装置，包括：飞秒激光器、光束整形单元、光学变焦系统、在线监测单元和工件加工平台，飞秒激光器产生超短脉冲光束，超短脉冲光束通过光束整形单元产生长焦深、小直径光斑的激光光束，并通过所述光学变焦系统将所述整形后的激光光束等比例缩小成光束焦点，同时通过在线监测单元反馈的在线加工所观测的加工情况及时调整装置参数，保证加工的精确度；利用本发明的装置通过所述工件加工平台与所述光束焦点相对运动的方法实现加工。本发明能突破红外增透微结构加工制造低效率的瓶颈，使增透率明显提升，且工艺成本较低。

公开(公告)号：CN110014224B

公开(公告)日：2020-05-01

申请号：CN201910402209.3

申请日：2019-05-14

Applicant: 中南大学

Inventor： 段吉安 ,  王浩然 ,  王聪 ,  张帆 ,  丁铠文 ,  吴碧微

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  B23K26/064 ,  B23K26/073 ,  B23K26/70 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明提供了一种飞秒激光高效率制造红外增透微结构的装置，包括：飞秒激光器、光束整形单元、光学变焦系统、在线监测单元和工件加工平台，飞秒激光器产生超短脉冲光束，超短脉冲光束通过光束整形单元产生长焦深、小直径光斑的激光光束，并通过所述光学变焦系统将所述整形后的激光光束等比例缩小成光束焦点，同时通过在线监测单元反馈的在线加工所观测的加工情况及时调整装置参数，保证加工的精确度；利用本发明的装置通过所述工件加工平台与所述光束焦点相对运动的方法实现加工。本发明能突破红外增透微结构加工制造低效率的瓶颈，使增透率明显提升，且工艺成本较低。