公开(公告)号：CN109473418A

公开(公告)日：2019-03-15

申请号：CN201811210694.6

申请日：2018-10-17

Applicant: 中南大学

Inventor： 王聪 ,  满姝 ,  郭登机 ,  丁铠文 ,  段吉安

IPC: H01L23/52 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种铜互连功能微结构，上铜片和下铜片，以及涂覆在上铜片和下铜片之间的纳米银浆；其中，上铜片与下铜片相交的两个表面上分布有均匀的周期性锥形结构；所述周期性锥形结构的锥体高度为52～58μm；相邻锥体间的中心距为55～60μm。本发明还提供一种铜互连功能微结构，包括：将超快激光入射在铜片表面上，控制超快激光光束在铜片表面进行网状扫描，形成周期性锥形微结构；在处理后的两片铜片表面涂覆一层纳米银浆后相扣，施加压力后保温保压，得到铜互连功能微结构。本发明的方法操作简单，制备得到的铜互连功能微结构的剪切强度有很大提高。

公开(公告)号：CN109473418B

公开(公告)日：2020-08-21

申请号：CN201811210694.6

申请日：2018-10-17

Applicant: 中南大学

Inventor： 王聪 ,  满姝 ,  郭登机 ,  丁铠文 ,  段吉安

IPC: H01L23/52 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种铜互连功能微结构，上铜片和下铜片，以及涂覆在上铜片和下铜片之间的纳米银浆；其中，上铜片与下铜片相交的两个表面上分布有均匀的周期性锥形结构；所述周期性锥形结构的锥体高度为52～58μm；相邻锥体间的中心距为55～60μm。本发明还提供一种铜互连功能微结构，包括：将超快激光入射在铜片表面上，控制超快激光光束在铜片表面进行网状扫描，形成周期性锥形微结构；在处理后的两片铜片表面涂覆一层纳米银浆后相扣，施加压力后保温保压，得到铜互连功能微结构。本发明的方法操作简单，制备得到的铜互连功能微结构的剪切强度有很大提高。