可调控的高非线性硅基石墨烯多模狭缝波导及制备方法

    公开(公告)号:CN117311056A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311409253.X

    申请日:2023-10-27

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及硅基光电集成器件领域,具体涉及一种可调控的高非线性硅基石墨烯多模狭缝波导及制备方法,包括氧化硅衬底,氧化硅衬底上设置有多个平行排列的硅波导,硅波导为截面为矩形的条状,相互之间设置有狭缝间隙形成多模狭缝波导,多模狭缝波导表面设置有两侧均延伸至氧化硅衬底表面的石墨烯薄膜,位于多模狭缝波导两侧的石墨烯薄膜表面分别设置有第一电极和第二电极,氧化硅衬底上未覆石墨烯薄膜的位置设置有第三电极;石墨烯薄膜、氧化硅衬底和各个电极上方均覆盖有离子凝胶层。本发明大幅度提高了器件非线性强度,可以广泛应用于高速光逻辑运算器件及多模光逻辑运算中。

    一种柔性化的Y型微型热电器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN117479809B

    公开(公告)日:2024-03-12

    申请号:CN202311817067.X

    申请日:2023-12-27

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于半导体器件技术领域,公开了一种柔性化的Y型微型热电器件及其制备方法,包括聚酰亚胺衬底层、有机物填充层和设置在中间的热电单元层,热电单元层顶部设置有多个向下延伸至聚酰亚胺衬底层的第一电极柱,底部设置有多个向上延伸至有机物填充层的第二电极柱,第二电极柱与第一电极柱交错设置;热电单元层设置在各个相邻的第二电极柱之间,两个相邻的第二电极柱及其之间的热电单元层和第一电极柱构成Y型热电单元器件;热电单元层包括分别位于第一电极柱的左右两侧的N型热电单元和P型热电单元。本发明不仅热电转化率高,性能优异,而且结构简单,易于扩展,其结合MEMS工艺制备,制备工艺简单、成本低,可广泛应用。

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