基于高密度CMUT柱面阵的乳腺三维超声CT成像系统

    公开(公告)号:CN112353420A

    公开(公告)日:2021-02-12

    申请号:CN202011123228.1

    申请日:2020-10-20

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种基于高密度CMUT柱面阵的乳腺三维超声CT成像系统,涉及MEMS传感器领域。该系统包括CMUT柱面阵探测器、配置电路、计算机控制系统和检测床,CMUT柱面阵探测器由512排环形阵列装配完成,每排环形阵列上等间距地分布着2048个CMUT阵元,CMUT阵元采用以硅‑硅键合为核心的微机械加工技术制作而成。CMUT柱面阵包围在乳房四周进行三维全自动电子扫查,在超声成像领域将具有很好的成本和性能优势。本发明设计合理,能够有效提高乳腺超声断层成像的分辨率,缩短检测时间,具有高灵敏度、高特异性以及成本低的特点,具有很好的实际应用及推广价值。

    基于MEMS技术的心音心电微型原位同步检测传感器

    公开(公告)号:CN109091135B

    公开(公告)日:2021-09-14

    申请号:CN201810784684.7

    申请日:2018-07-17

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种基于MEMS技术的心音心电微型原位同步检测传感器,包括壳体,壳体上固定有透声帽,壳体内设有支撑板,支撑板上安装有MEMS声传感器微结构,MEMS声传感器微结构由支撑框架、中心质量块、悬臂梁及四个压敏电阻组成;壳体的外围套装有一圈心电电极,心电电极的外围套装有一圈吸盘;心电电极包括顶面为针尖式微阵列设计的柔性导电基底,柔性导电基底的顶面依次溅射有金属种子层和金属层、背面涂覆有导电银胶层。相比于传统的听诊器或是心电传感器,本发明传感器利用MEMS技术将心音、心电集于一体,进而能够实现冠心病的多参数联合分析诊断,具有灵敏度高,体积小,可批量加工,低成本等优点。

    基于MEMS技术的心音心电微型原位同步检测传感器

    公开(公告)号:CN109091135A

    公开(公告)日:2018-12-28

    申请号:CN201810784684.7

    申请日:2018-07-17

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种基于MEMS技术的心音心电微型原位同步检测传感器,包括壳体,壳体上固定有透声帽,壳体内设有支撑板,支撑板上安装有MEMS声传感器微结构,MEMS声传感器微结构由支撑框架、中心质量块、悬臂梁及四个压敏电阻组成;壳体的外围套装有一圈心电电极,心电电极的外围套装有一圈吸盘;心电电极包括顶面为针尖式微阵列设计的柔性导电基底,柔性导电基底的顶面依次溅射有金属种子层和金属层、背面涂覆有导电银胶层。相比于传统的听诊器或是心电传感器,本发明传感器利用MEMS技术将心音、心电集于一体,进而能够实现冠心病的多参数联合分析诊断,具有灵敏度高,体积小,可批量加工,低成本等优点。

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