公开(公告)号：CN109091135B

公开(公告)日：2021-09-14

申请号：CN201810784684.7

申请日：2018-07-17

Applicant: 中北大学

Inventor： 张国军 ,  王任鑫 ,  王卫东 ,  李海霞 ,  徐庆达 ,  史一明 ,  张小勇 ,  裴毓 ,  张兰胜 ,  廉宇琦 ,  何常德 ,  薛晨阳 ,  张文栋

IPC: A61B5/318 ,  A61B7/02

Abstract: 本发明为一种基于MEMS技术的心音心电微型原位同步检测传感器，包括壳体，壳体上固定有透声帽，壳体内设有支撑板，支撑板上安装有MEMS声传感器微结构，MEMS声传感器微结构由支撑框架、中心质量块、悬臂梁及四个压敏电阻组成；壳体的外围套装有一圈心电电极，心电电极的外围套装有一圈吸盘；心电电极包括顶面为针尖式微阵列设计的柔性导电基底，柔性导电基底的顶面依次溅射有金属种子层和金属层、背面涂覆有导电银胶层。相比于传统的听诊器或是心电传感器，本发明传感器利用MEMS技术将心音、心电集于一体，进而能够实现冠心病的多参数联合分析诊断，具有灵敏度高，体积小，可批量加工，低成本等优点。

公开(公告)号：CN110068310B

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN201910351161.8

申请日：2019-04-28

Applicant: 中北大学

Inventor： 王任鑫 ,  薛晨阳 ,  申玮 ,  张国军 ,  郑永秋 ,  张文君 ,  廉宇琦

IPC: G01C13/00

Abstract: 本发明为一种高可靠性海洋湍流传感装置，包括硅十字梁敏感芯片、橡胶帽、导流罩和支撑壳体；硅十字梁敏感芯片固定在支撑壳体上，橡胶帽罩扣在硅十字梁敏感芯片外并与支撑壳体固定，导流罩扣在橡胶帽外并与支撑壳体固定，橡胶帽的顶端向上延设有贯穿导流罩并伸至导流罩外部的橡胶探头，支撑壳体上设有若干个透水孔。本发明装置是针对深海中硅十字梁纤毛敏感结构极其容易损坏的问题，在保证不降低其灵敏度和空间分辨率的基础上研制而成的。本发明装置设计科学、结构简单、制作容易，实现了湍流探测空间分辨率、灵敏度和可靠性的均衡。

公开(公告)号：CN110068310A

公开(公告)日：2019-07-30

申请号：CN201910351161.8

申请日：2019-04-28

Applicant: 中北大学

Inventor： 王任鑫 ,  薛晨阳 ,  申玮 ,  张国军 ,  郑永秋 ,  张文君 ,  廉宇琦

IPC: G01C13/00

Abstract: 本发明为一种高可靠性海洋湍流传感装置，包括硅十字梁敏感芯片、橡胶帽、导流罩和支撑壳体；硅十字梁敏感芯片固定在支撑壳体上，橡胶帽罩扣在硅十字梁敏感芯片外并与支撑壳体固定，导流罩扣在橡胶帽外并与支撑壳体固定，橡胶帽的顶端向上延设有贯穿导流罩并伸至导流罩外部的橡胶探头，支撑壳体上设有若干个透水孔。本发明装置是针对深海中硅十字梁纤毛敏感结构极其容易损坏的问题，在保证不降低其灵敏度和空间分辨率的基础上研制而成的。本发明装置设计科学、结构简单、制作容易，实现了湍流探测空间分辨率、灵敏度和可靠性的均衡。

公开(公告)号：CN109091135A

公开(公告)日：2018-12-28

申请号：CN201810784684.7

申请日：2018-07-17

Applicant: 中北大学

Inventor： 张国军 ,  王任鑫 ,  王卫东 ,  李海霞 ,  徐庆达 ,  史一明 ,  张小勇 ,  裴毓 ,  张兰胜 ,  廉宇琦 ,  何常德 ,  薛晨阳 ,  张文栋

IPC: A61B5/0402 ,  A61B7/02

Abstract: 本发明为一种基于MEMS技术的心音心电微型原位同步检测传感器，包括壳体，壳体上固定有透声帽，壳体内设有支撑板，支撑板上安装有MEMS声传感器微结构，MEMS声传感器微结构由支撑框架、中心质量块、悬臂梁及四个压敏电阻组成；壳体的外围套装有一圈心电电极，心电电极的外围套装有一圈吸盘；心电电极包括顶面为针尖式微阵列设计的柔性导电基底，柔性导电基底的顶面依次溅射有金属种子层和金属层、背面涂覆有导电银胶层。相比于传统的听诊器或是心电传感器，本发明传感器利用MEMS技术将心音、心电集于一体，进而能够实现冠心病的多参数联合分析诊断，具有灵敏度高，体积小，可批量加工，低成本等优点。