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公开(公告)号:CN1249447A
公开(公告)日:2000-04-05
申请号:CN98120572.0
申请日:1998-09-30
Applicant: 东洋合成工业株式会社 , 昭和电工株式会社
IPC: G03F7/008
CPC classification number: G03F7/0125
Abstract: 不使用铬化合物制备的光敏组合物。该组合物显示出高的分辨率和满意的敏感性,且不导致环境污染。该光敏组合物含用作光致交联剂的水溶性叠氮化合物和在水溶性叠氮化合物存在下可光致交联的聚(N-乙烯基乙酰胺)。
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公开(公告)号:CN1166985C
公开(公告)日:2004-09-15
申请号:CN99119331.8
申请日:1999-08-05
Applicant: 东洋合成工业株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0005 , G03F7/0388 , Y10S430/11
Abstract: 本发明提供硬化后具有极好防水性、极好的可显影性、和极好的图案形成特性的光敏树脂和光敏树脂组合物,以及用该组合物形成图案的方法。本发明提供包含由化学式(I)和(II)所示结构单元的皂化的聚(乙酸乙烯酯)光敏树脂:在该树脂中由化学式(I)和(II)所示结构单元的含量相对于所述PVA皂化产物的结构单元的整体是0.5-10摩尔%。
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公开(公告)号:CN1131461C
公开(公告)日:2003-12-17
申请号:CN98109835.5
申请日:1998-05-13
Applicant: 东洋合成工业株式会社
IPC: G03F7/012
CPC classification number: G03F7/012
Abstract: 本发明涉及含有式(I)单元的感光性化合物,特别涉及由式(III)表示的感光性化合物。由这些新的感光树脂化合物可制备各种不同的感光树脂组合物,由此得到的感光树脂组合物没有环境污染问题,并且具有高分辨率,高水平的感光度,和显示出与基底的良好粘合性能,涂布性能和储存稳定性。
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公开(公告)号:CN1248729A
公开(公告)日:2000-03-29
申请号:CN99119331.8
申请日:1999-08-05
Applicant: 东洋合成工业株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0005 , G03F7/0388 , Y10S430/11
Abstract: 本发明提供硬化后具有极好防水性、极好的可显影性、和极好的图案形成特性的光敏树脂和光敏树脂组合物,以及用该组合物形成图案的方法。本发明提供包含由化学式(Ⅰ)和(Ⅱ)所示结构单元的皂化的聚(乙酸乙烯酯)光敏树脂:在该树脂中由化学式(Ⅰ)和(Ⅱ)所示结构单元的含量相对于所述PVA皂化产物的结构单元的整体是0.5—10摩尔%。
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