公开(公告)号：CN1166985C

公开(公告)日：2004-09-15

申请号：CN99119331.8

申请日：1999-08-05

Applicant: 东洋合成工业株式会社

Inventor： 栃泽哲明 ,  宫崎光晴 ,  伊藤隆穗

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0005 ,  G03F7/0388 ,  Y10S430/11

Abstract: 本发明提供硬化后具有极好防水性、极好的可显影性、和极好的图案形成特性的光敏树脂和光敏树脂组合物，以及用该组合物形成图案的方法。本发明提供包含由化学式(I)和(II)所示结构单元的皂化的聚(乙酸乙烯酯)光敏树脂：在该树脂中由化学式(I)和(II)所示结构单元的含量相对于所述PVA皂化产物的结构单元的整体是0.5-10摩尔%。

公开(公告)号：CN1248729A

公开(公告)日：2000-03-29

申请号：CN99119331.8

申请日：1999-08-05

Applicant: 东洋合成工业株式会社

Inventor： 栃泽哲明 ,  宫崎光晴 ,  伊藤隆穗

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0005 ,  G03F7/0388 ,  Y10S430/11

Abstract: 本发明提供硬化后具有极好防水性、极好的可显影性、和极好的图案形成特性的光敏树脂和光敏树脂组合物,以及用该组合物形成图案的方法。本发明提供包含由化学式(Ⅰ)和(Ⅱ)所示结构单元的皂化的聚(乙酸乙烯酯)光敏树脂:在该树脂中由化学式(Ⅰ)和(Ⅱ)所示结构单元的含量相对于所述PVA皂化产物的结构单元的整体是0.5—10摩尔%。