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公开(公告)号:CN1166985C
公开(公告)日:2004-09-15
申请号:CN99119331.8
申请日:1999-08-05
Applicant: 东洋合成工业株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0005 , G03F7/0388 , Y10S430/11
Abstract: 本发明提供硬化后具有极好防水性、极好的可显影性、和极好的图案形成特性的光敏树脂和光敏树脂组合物,以及用该组合物形成图案的方法。本发明提供包含由化学式(I)和(II)所示结构单元的皂化的聚(乙酸乙烯酯)光敏树脂:在该树脂中由化学式(I)和(II)所示结构单元的含量相对于所述PVA皂化产物的结构单元的整体是0.5-10摩尔%。
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公开(公告)号:CN100360575C
公开(公告)日:2008-01-09
申请号:CN200380103275.8
申请日:2003-11-13
Applicant: 东洋合成工业株式会社
IPC: C08F299/04
CPC classification number: G03F7/0388 , C08F8/14 , C08F265/02 , C08F290/126 , C08F299/00 , C08F2810/30 , C08L51/003 , C08F20/06
Abstract: 本发明的光敏树脂组合物由以固体为基础,酸值为150mg KOH/g或更大的聚((甲基)丙烯酸)基水溶性光敏树脂(A);光聚合引发剂(B);和水(C)组成;其中,由其中式(1)表示的化合物加成到部分羧酸基上的((甲基)丙烯酸)基聚合物上,形成树脂(A):(其中R1表示H或Me;和R2表示直链或支链C2-C10亚烷基)。
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公开(公告)号:CN1711295A
公开(公告)日:2005-12-21
申请号:CN200380103275.8
申请日:2003-11-13
Applicant: 东洋合成工业株式会社
IPC: C08F299/04
CPC classification number: G03F7/0388 , C08F8/14 , C08F265/02 , C08F290/126 , C08F299/00 , C08F2810/30 , C08L51/003 , C08F20/06
Abstract: 本发明的光敏树脂组合物由以固体为基础,酸值为150mg KOH/g或更大的聚((甲基)丙烯酸)基水溶性光敏树脂(A);光聚合引发剂(B);和水(C)组成;其中,由其中式(1)表示的化合物加成到部分羧酸基上的((甲基)丙烯酸)基聚合物上,形成树脂(A),(其中R1表示H或Me;和R2表示直链或支链C2-C10亚烷基)。
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公开(公告)号:CN1248729A
公开(公告)日:2000-03-29
申请号:CN99119331.8
申请日:1999-08-05
Applicant: 东洋合成工业株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/0005 , G03F7/0388 , Y10S430/11
Abstract: 本发明提供硬化后具有极好防水性、极好的可显影性、和极好的图案形成特性的光敏树脂和光敏树脂组合物,以及用该组合物形成图案的方法。本发明提供包含由化学式(Ⅰ)和(Ⅱ)所示结构单元的皂化的聚(乙酸乙烯酯)光敏树脂:在该树脂中由化学式(Ⅰ)和(Ⅱ)所示结构单元的含量相对于所述PVA皂化产物的结构单元的整体是0.5—10摩尔%。
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