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公开(公告)号:CN1203381A
公开(公告)日:1998-12-30
申请号:CN98109835.5
申请日:1998-05-13
Applicant: 东洋合成工业株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: G03F7/012
Abstract: 本发明涉及含有式(Ⅰ)单元的感光性化合物,特别涉及由式(Ⅲ)表示的感光性化合物。由这些新的感光树脂化合物可制备各种不同的感光树脂组合物,由此得到的感光树脂组合物没有环境污染问题,并且具有高分辨率,高水平的感光度,和显示出与基底的良好粘合性能,涂布性能和储存稳定性。
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公开(公告)号:CN1131461C
公开(公告)日:2003-12-17
申请号:CN98109835.5
申请日:1998-05-13
Applicant: 东洋合成工业株式会社
IPC: G03F7/012
CPC classification number: G03F7/012
Abstract: 本发明涉及含有式(I)单元的感光性化合物,特别涉及由式(III)表示的感光性化合物。由这些新的感光树脂化合物可制备各种不同的感光树脂组合物,由此得到的感光树脂组合物没有环境污染问题,并且具有高分辨率,高水平的感光度,和显示出与基底的良好粘合性能,涂布性能和储存稳定性。
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