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公开(公告)号：CN109974681A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201910278354.5
申请日：2019-04-09
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明公开了一种基于光波导的盘式谐振陀螺仪及其加工封装方法，陀螺仪包括键合连接的SOI结构和玻璃盖帽，SOI结构自上而下分别是硅器件层、二氧化硅绝缘层和硅衬底层；硅器件层的中心区域为圆形锚点，圆形锚点外围同心设有圆环凹槽结构，圆环凹槽结构外围均匀分布有光学结构，每个光学结构外面设有相应的电极焊盘；硅衬底层内打有若干背部通孔；二氧化硅绝缘层设有圆环形凹槽使得圆环凹槽和背部通孔联通；玻璃盖帽的腔体设在玻璃盖帽背面中间区域，玻璃盖帽上与纳米光栅相对位置设有底部不打通的光栅圆孔，与电极焊盘相对位置设有底部完全打通的电极圆孔。本发明尺寸小、密封性良好、灵敏度高，能实现高精度的光学检测。
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公开(公告)号：CN108674649B
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN201810353820.7
申请日：2018-04-19
Applicant: 东南大学
IPC: B64C33/00 , B64C39/02 , B23K26/38 , B23K26/382 , B23K26/402 , B29C65/02
Abstract: 本发明公开一种压电式微型扑翼飞行器及其传动机构加工方法，飞行器包括飞行器机身、压电驱动器固定板、传动机构、两个侧翼、尾翼、三个柔性铰链和双晶片压电驱动器；飞行器机身为空腔结构，压电驱动器固定板和传动机构设在空腔结构内，传动机构两端穿出飞行器机身两侧，两个双晶片压电驱动器一端与传动机构插接，另一端与压电驱动器固定板插接；一个双晶片压电驱动器一端与压电驱动器固定板插接，另一端伸出飞行器机身；两个侧翼和尾翼根部均粘附有柔性铰链，两个侧翼通过柔性铰链粘附在传动机构上，尾翼通过柔性铰链粘附在双晶片压电驱动器伸出飞行器机身部。本发明质量轻、尺寸小，飞行器具有优异的平衡性和稳定性，能实现多个姿态的控制。
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公开(公告)号：CN109050911B
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201810818672.1
申请日：2018-07-24
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种多自由度压电驱动式微型扑翼飞行器及其传动机构的加工方法，飞行器包括飞行器机身、一个传动机构、两个柔性铰链、两对辅助机翼、一对主机翼、一对第一双晶片压电驱动器和一对第二双晶片压电驱动器；传动机构固定在飞行器机身顶部；柔性铰链对称地插接在传动机构两端；两对辅助机翼分别粘附在第二双晶片压电驱动器的两侧；主机翼分别粘附在上方左右两侧的柔性铰链上；第一双晶片压电驱动器的上端作为可动部分与传动机构连接，下端固定在飞行器机身上；第二双晶片压电驱动器的上端与辅助机翼结合，下端固定在机身上。本发明质量轻、尺寸小，可以很好地模仿昆虫的飞行姿态，实现多自由度的控制，具有优异的平衡性和稳定性。
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公开(公告)号：CN110342453A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201910535475.3
申请日：2019-06-20
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于双光栅检测的微机电陀螺仪及其加工封装方法，陀螺仪的SOI结构自上而下为硅器件层、二氧化硅绝缘层和硅衬底层；硅器件层的第一金属键合区设置于其框架上表面四周，框架中间设有第一十字形通孔，检测组件设于第一十字形通孔内；二氧化硅绝缘层设有与第一十字形通孔相对应的第二十字形通孔，检测组件周围放置在二氧化硅绝缘层上；硅衬底层内设有若干背部通孔；玻璃盖帽背面中心区域设有金属光栅，金属光栅外围区域设有与第一十字形通孔对应的十字形腔体，且设有与检测组件连接的电极圆孔；玻璃盖帽背面四周设有第二金属键合区；SOI结构和玻璃盖帽键合连接。本发明尺寸小、密封性良好、灵敏度高，能实现高精度的光学检测。
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公开(公告)号：CN109398696B
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201811208944.2
申请日：2018-10-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于压电双晶片翅膀的角度可调节微飞行器及其加工装配方法，飞行器包括一对压电双晶片翅膀、上机身盖、下机身盖、4对内侧机身、4对外侧机身和3条支撑腿，相对的内侧机身和外侧机身上设有倾角和位置相同的翅膀插槽，一个压电双晶片翅膀固定在一对插槽倾角和位置相同的内、外侧机身上，另一个压电双晶片翅膀固定在与之对称的一对内、外侧机身上；上机身盖用于固定内、外侧机身，下机身盖用于固定内、外侧机身和安装支撑腿；其中上下机身盖和内、外侧机身上开设有控制压电双晶片翅膀引线的过线孔。本发明结构简单，加工难度低，成本低，翅膀固定位置和角度可选择方案多，适合做数据采集和测飞实验。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108674649A
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201810353820.7
申请日：2018-04-19
Applicant: 东南大学
IPC: B64C33/00 , B64C39/02 , B23K26/38 , B23K26/382 , B23K26/402 , B29C65/02
CPC classification number: B64C33/00 , B23K26/38 , B23K26/382 , B23K26/402 , B29C65/02 , B64C39/028 , B64C2201/025 , B64C2201/042
Abstract: 本发明公开一种压电式微型扑翼飞行器及其传动机构加工方法，飞行器包括飞行器机身、压电驱动器固定板、传动机构、两个侧翼、尾翼、三个柔性铰链和双晶片压电驱动器；飞行器机身为空腔结构，压电驱动器固定板和传动机构设在空腔结构内，传动机构两端穿出飞行器机身两侧，两个双晶片压电驱动器一端与传动机构插接，另一端与压电驱动器固定板插接；一个双晶片压电驱动器一端与压电驱动器固定板插接，另一端伸出飞行器机身；两个侧翼和尾翼根部均粘附有柔性铰链，两个侧翼通过柔性铰链粘附在传动机构上，尾翼通过柔性铰链粘附在双晶片压电驱动器伸出飞行器机身部。本发明质量轻、尺寸小，飞行器具有优异的平衡性和稳定性，能实现多个姿态的控制。
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公开(公告)号：CN107655467A
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201711129954.2
申请日：2017-11-15
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5691 , G01C19/5783
CPC classification number: G01C19/5691 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开一种整体式微半球谐振陀螺仪及其加工封装方法，整体式微半球谐振陀螺仪包括半球壳谐振子、支撑柄、上层玻璃衬底、下层玻璃衬底、中间硅衬底、外围锚点结构、电极、第一电极孔、焊盘、金属掩膜层、金属引线和第二电极孔；上层玻璃衬底、中间硅衬底和下层玻璃衬底自上而下依次设置，外围锚点结构设在中间硅衬底的外周；半球壳谐振子设中间硅衬底内；电极均匀分布在半球壳谐振子外周；上层玻璃衬底上第一电极孔；第一电极孔上设有焊盘；第二电极孔设在下层玻璃衬底中心位置，金属掩膜层底端通过金属引线与第二电极孔相连。本发明尺寸小，结构完整性好、精密度和灵敏度高、使用寿命长；加工封装方法能缩短生产周期，适合批量化生产。
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公开(公告)号：CN110342453B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201910535475.3
申请日：2019-06-20
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于双光栅检测的微机电陀螺仪及其加工封装方法，陀螺仪的SOI结构自上而下为硅器件层、二氧化硅绝缘层和硅衬底层；硅器件层的第一金属键合区设置于其框架上表面四周，框架中间设有第一十字形通孔，检测组件设于第一十字形通孔内；二氧化硅绝缘层设有与第一十字形通孔相对应的第二十字形通孔，检测组件周围放置在二氧化硅绝缘层上；硅衬底层内设有若干背部通孔；玻璃盖帽背面中心区域设有金属光栅，金属光栅外围区域设有与第一十字形通孔对应的十字形腔体，且设有与检测组件连接的电极圆孔；玻璃盖帽背面四周设有第二金属键合区；SOI结构和玻璃盖帽键合连接。本发明尺寸小、密封性良好、灵敏度高，能实现高精度的光学检测。
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公开(公告)号：CN109974681B
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN201910278354.5
申请日：2019-04-09
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明公开了一种基于光波导的盘式谐振陀螺仪及其加工封装方法，陀螺仪包括键合连接的SOI结构和玻璃盖帽，SOI结构自上而下分别是硅器件层、二氧化硅绝缘层和硅衬底层；硅器件层的中心区域为圆形锚点，圆形锚点外围同心设有圆环凹槽结构，圆环凹槽结构外围均匀分布有光学结构，每个光学结构外面设有相应的电极焊盘；硅衬底层内打有若干背部通孔；二氧化硅绝缘层设有圆环形凹槽使得圆环凹槽和背部通孔联通；玻璃盖帽的腔体设在玻璃盖帽背面中间区域，玻璃盖帽上与纳米光栅相对位置设有底部不打通的光栅圆孔，与电极焊盘相对位置设有底部完全打通的电极圆孔。本发明尺寸小、密封性良好、灵敏度高，能实现高精度的光学检测。
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公开(公告)号：CN109398696A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811208944.2
申请日：2018-10-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于压电双晶片翅膀的角度可调节微飞行器及其加工装配方法，飞行器包括一对压电双晶片翅膀、上机身盖、下机身盖、4对内侧机身、4对外侧机身和3条支撑腿，相对的内侧机身和外侧机身上设有倾角和位置相同的翅膀插槽，一个压电双晶片翅膀固定在一对插槽倾角和位置相同的内、外侧机身上，另一个压电双晶片翅膀固定在与之对称的一对内、外侧机身上；上机身盖用于固定内、外侧机身，下机身盖用于固定内、外侧机身和安装支撑腿；其中上下机身盖和内、外侧机身上开设有控制压电双晶片翅膀引线的过线孔。本发明结构简单，加工难度低，成本低，翅膀固定位置和角度可选择方案多，适合做数据采集和测飞实验。
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