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公开(公告)号：CN1250976C
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：CN01800430.X
申请日：2001-03-07
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 北斗电子工业株式会社
CPC classification number: G01R27/02
Abstract: 核心部分1的第二运算放大器11使反相输入端和输出端子短路。信号线19连接到同相输入端。电容传感器18连接到信号线19。使第一运算放大器12的同相输入端接地。第一电阻15和第二电阻16的一端分别连接到反相输入端。第一电阻15的另一端连接到交流电压发生器14。第二电阻16的另一端连接到第一运算放大器11的输出端。核心部分1的信号输出端21连接到反相放大装置2。核心部分1的交流输出端22和反相放大装置部2的反相输出端42连接到加法装置3。运算放大器36、40的同相输入端接地。
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公开(公告)号：CN110249079A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201880009730.4
申请日：2018-01-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 实施方式所涉及的电解处理装置(1、1A)是对被处理基板进行电解处理的电解处理装置，其具备基板保持部(10)和电解处理部(20)。基板保持部(10)具有间接阴极(12)和绝缘性的保持基体(11)，该保持基体(11)用于保持被处理基板，该间接阴极(12)设置在保持基体(11)的内部且被施加负电压。电解处理部(20)以面对基板保持部(10)的方式设置，向被处理基板以及与被处理基板相接的电解液施加电压。
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公开(公告)号：CN101490816B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200780025076.8
申请日：2007-07-02
Applicant: 学校法人立命馆 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3065 , H05H1/00
CPC classification number: H05H1/0006 , H01J37/32935 , H01J2237/0206
Abstract: 等离子体异常放电诊断系统具备：数据获取部(21)，其获取随着等离子体的状态而变动的时间序列数据；平移误差运算部(24)，其根据通过数据获取部(21)获取的时间序列数据，算出表示确定性的值，该值成为等离子体的时间序列数据是确定的数据还是或然的数据的指标；以及异常放电判断部(26)，其在上述等离子体产生中由上述确定性导出单元算出的表示确定性的值在规定的阈值以下的情况下，判断为上述等离子体是异常放电状态。表示确定性的值例如能够使用平移误差或者排列熵。在作为表示确定性的值而使用排列熵的情况下，具备排列熵运算部。
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公开(公告)号：CN101133320A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200680007010.1
申请日：2006-03-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01P15/18 , B81B2201/0257 , B81C99/005 , G01C19/56 , G01C25/005 , G01N29/043 , G01N2291/02881 , G01N2291/0421 , G01N2291/044 , G01N2291/102 , G01N2291/2698 , G01P15/123 , G01P21/00 , G01P2015/084 , G01P2015/0842
Abstract: 本发明提供一种微小结构体的检查装置、检查方法、以及检查程序。扬声器部(2)包括多个声源，从各个声源输出声波。通过从扬声器部(2)输出的为疏密波的声波的到达、即空气振动，使作为检测芯片(TP)的微小结构体的三轴加速度传感器的可动部分动作。根据经由探针(4)而给出的输出电压来测量随着该动作而发生改变的电阻值的变化。控制部(20)根据测量出的特性值、即测量数据来判断三轴加速度传感器的特性。另外，对于多个声源的间隔，通过根据至三轴加速度传感器的可动部分的距离差和测试声波的波长将声源的间隔设定为规定值，可以按照被合成的声波的合成声场变为最大的方式向可动部分施加作为合成波的测试声波。
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公开(公告)号：CN1746683A
公开(公告)日：2006-03-15
申请号：CN200510076693.3
申请日：2005-06-13
Applicant: 奥克泰克有限公司 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供了一种以简易方式高精度地检验具有微小可动部分的结构体的检验装置、检验方法及检验程序。在本发明中，从扬声器(2)输出测试声波。随着从扬声器(2)输出的作为压缩波的测试声波的到达、即空气振动，检测芯片(TP)的微型结构体、即三轴加速度传感器的可动部分动作。根据经由探针(4)施加的输出电压来测量随着该动作而变化的阻值变化。控制部(20)根据测出的特性值、即测量数据来判断三轴加速度传感器的特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1211666C
公开(公告)日：2005-07-20
申请号：CN99800246.1
申请日：1999-01-22
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01R27/26
CPC classification number: G01R27/2605
Abstract: 提供一种阻抗-电压转换器和转换方法，利用运算放大器工作于虚拟短路状态，将阻抗转换为电压，而不受寄生电容的影响。该阻抗-电压转换器由运算放大器、交流信号发生器和两条屏蔽线组成，其中，运算放大器当其输出端和反相输入端之间连接阻抗元件时，反相输入端和非反相输入端之间处于虚拟短路状态，一屏蔽线用于屏蔽用来连接阻抗元件和反相输入的连接线，交流信号发生器连接于非反相输入端，另一屏蔽线用于屏蔽信号线。两条屏蔽线都与非反相输入端连接。
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公开(公告)号：CN110249079B
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN201880009730.4
申请日：2018-01-18
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 实施方式所涉及的电解处理装置(1、1A)是对被处理基板进行电解处理的电解处理装置，其具备基板保持部(10)和电解处理部(20)。基板保持部(10)具有间接阴极(12)和绝缘性的保持基体(11)，该保持基体(11)用于保持被处理基板，该间接阴极(12)设置在保持基体(11)的内部且被施加负电压。电解处理部(20)以面对基板保持部(10)的方式设置，向被处理基板以及与被处理基板相接的电解液施加电压。
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公开(公告)号：CN101490816A
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200780025076.8
申请日：2007-07-02
Applicant: 学校法人立命馆 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3065 , H05H1/00
CPC classification number: H05H1/0006 , H01J37/32935 , H01J2237/0206
Abstract: 等离子体异常放电诊断系统具备：数据获取部(21)，其获取随着等离子体的状态而变动的时间序列数据；平移误差运算部(24)，其根据通过数据获取部(21)获取的时间序列数据，算出表示确定性的值，该值成为等离子体的时间序列数据是确定的数据还是或然的数据的指标；以及异常放电判断部(26)，其在上述等离子体产生中由上述确定性导出单元算出的表示确定性的值在规定的阈值以下的情况下，判断为上述等离子体是异常放电状态。表示确定性的值例如能够使用平移误差或者排列熵。在作为表示确定性的值而使用排列熵的情况下，具备排列熵运算部。
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公开(公告)号：CN1551989A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN02817393.7
申请日：2002-09-06
Applicant: 住友金属工业株式会社 , 北斗电子工业株式会社
CPC classification number: G01D5/24 , G01N27/22 , G01R27/2605
Abstract: 本发明公开了一种阻抗检测电路及电容检测电路，其中，所述电容检测电路包括交流电压发生器(11)、同相输入端子连接在给定电位(在本实施例中，接地)上的运算放大器(14)、阻抗变换器(16)、连接在交流电压发生器(11)与运算放大器(14)之间的电阻(R1)(12)、连接在运算放大器(14)的反相输入端子与阻抗变换器(16)的输出端子之间的电阻(R2)(13)、以及连接在运算放大器(14)的输出端子与阻抗变换器(16)的输入端子之间的阻抗元件(电容器)(15)，被测阻抗(17)连接在阻抗变换器(16)的输入端子和给定电位之间。
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公开(公告)号：CN1255975A
公开(公告)日：2000-06-07
申请号：CN99800062.0
申请日：1999-01-14
Applicant: 住友金属工业株式会社 , 北斗电子工业株式会社
IPC: G01R27/26
CPC classification number: G01R27/2605
Abstract: 一种用于将目标的阻抗转换成电压的阻抗－电压(Z/V)转换器,包括运算放大器(OP),由信号传输线和屏蔽部分组成的同轴电缆,和交流信号发生器。反馈阻抗电路被连接于OP的输出端与反相端之间,从而同相端与反相端处于假短路状态。信号传输线的一端连到OP的反相输入端,另一端连到目标的一个电极,并且AC信号发生器连到OP的同相输入端。屏蔽元件包括至少一个屏蔽层,它们环绕信号传输线,并被连到OP的同相输入端,而且由于OP的两个输入端的假短路,所以信号传输线与屏蔽层同电位,使信号传输线上的噪声减小。
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