-
公开(公告)号：CN116941012A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202280017209.1
申请日：2022-02-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02
Abstract: 在基板处理中的处理条件的探索中，收集适当的数据。一种数据收集系统，具有：具有第1处理空间的第1基板处理装置、具有第2处理空间的第2基板处理装置、和与所述第1基板处理装置及第2基板处理装置连接的数据收集装置，具有：修正量计算部，比较通过在相同的处理条件下在所述第1处理空间和第2处理空间中分别处理相同或类似形状的基板而观测到的观测数据，计算出对通过在所述第2处理空间中进行处理而观测到的观测数据进行修正的修正量；和收集部，在通过在所述第2处理空间中改变处理条件来处理基板从而探索处理条件时，基于所述修正量来对通过在所述第2处理空间中进行处理而观测到的观测数据进行修正，并收集修正后的观测数据。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116670597A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202180086072.0
申请日：2021-12-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明的目的在于提供一种预测控制对象中处理值的变化并利用预测结果的结构。本发明的管理装置，包括：预测模型部，学习了控制对象中的时刻T时的多变量控制值与所述控制对象中的时刻T+ΔT时的多变量处理值的输入输出关系；以及优化模型部，探索将由所述预测模型部输出的时刻T+ΔT时的多变量处理值与对应的目标值之间的各差值最小化的时刻T时的多变量控制值，并利用所探索出的该多变量控制值对所述控制对象进行控制，其中，在存在来自管理所述预测模型部的代理部的请求时，所述预测模型部对以指定的控制值对所述控制对象进行控制的情况下的所述控制对象中的时刻ΔT后的多变量处理值进行预测，并输出至所述代理部。
-
公开(公告)号：CN104272431A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380022825.7
申请日：2013-07-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , G05B19/418
CPC classification number: H04N7/183 , G05B19/042 , G05B19/4183 , G05B2219/23414 , G05B2219/31286 , G05B2219/36167 , G05B2219/45031 , G06T7/0004 , H04N5/225 , H04N5/44 , Y02P90/18 , H01L21/02 , G05B19/418
Abstract: 本发明提供一种通过服务器和能够与该服务器通信的移动终端来监视配设在工厂内的制造设备的制造设备的监视装置，在移动终端的拍摄元件朝向制造设备时，基于通过位置信息获取单元获取到的位置信息、通过方向检测单元检测到的方向信息、拍摄元件的视角以及布局信息，来确定制造设备，并从存储单元提取确定出的制造设备的制造设备信息，并在显示单元显示提取出的制造设备信息的至少一部分。
-
公开(公告)号：CN104428823B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380036298.5
申请日：2013-07-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明涉及无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法。该装置是用于监视在地板部配置了能够取下的格栅的无尘室的内部的无尘室的监视装置，该装置具备：监视照相机，其拍摄上述格栅；监视部，其根据利用上述监视照相机得到的图像信号来检测取下了上述格栅的开口部的有无，并在有开口部的情况下检测接近该开口部的作业人员的有无，并在检测到上述作业人员时输出警报信号；以及警报发生单元，其从上述监视部接受上述警报信号，并发出警报。
-
公开(公告)号：CN104272431B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201380022825.7
申请日：2013-07-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , G05B19/418
CPC classification number: H04N7/183 , G05B19/042 , G05B19/4183 , G05B2219/23414 , G05B2219/31286 , G05B2219/36167 , G05B2219/45031 , G06T7/0004 , H04N5/225 , H04N5/44 , Y02P90/18
Abstract: 本发明提供一种通过服务器和能够与该服务器通信的移动终端来监视配设在工厂内的制造设备的制造设备的监视装置，在移动终端的拍摄元件朝向制造设备时，基于通过位置信息获取单元获取到的位置信息、通过方向检测单元检测到的方向信息、拍摄元件的视角以及布局信息，来确定制造设备，并从存储单元提取确定出的制造设备的制造设备信息，并在显示单元显示提取出的制造设备信息的至少一部分。
-
公开(公告)号：CN104428823A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201380036298.5
申请日：2013-07-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明涉及无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法。该装置是用于监视在地板部配置了能够取下的格栅的无尘室的内部的无尘室的监视装置，该装置具备：监视照相机，其拍摄上述格栅；监视部，其根据利用上述监视照相机得到的图像信号来检测取下了上述格栅的开口部的有无，并在有开口部的情况下检测接近该开口部的作业人员的有无，并在检测到上述作业人员时输出警报信号；以及警报发生单元，其从上述监视部接受上述警报信号，并发出警报。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.021 seconds)
