公开(公告)号：CN112930592B

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN201980071030.2

申请日：2019-10-23

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 远藤荣几 ,  高塚宏行 ,  向山达也

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02

Abstract: 基板处理装置具有基板处理部和控制部。基板处理部具有加载埠，该加载埠构成为配置收容有至少一个基板的基板收容容器。基板处理部构成为从配置于加载埠的基板收容容器取出基板，并且对该基板实施一系列的处理。控制部构成为控制配置于加载埠的基板收容容器的盖的开闭。在将基板收容容器配置于加载埠后，控制部控制为打开盖。在基板处理部发生了异常状态并经过了预先决定的时间、并且在从基板收容容器取出的基板中没有能够回收至所述基板收容容器中的基板的情况下，控制部控制为关闭盖。

公开(公告)号：CN112956010A

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201980072936.6

申请日：2019-09-03

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 远藤荣几 ,  金丸秀忠 ,  齐藤泰宏 ,  长久保启一 ,  坂本仪秀 ,  岩崎智德

IPC: H01L21/677

Abstract: 一种基板处理装置，其具有加载部、加载互锁室、处理模块、基板输送机构、以及控制部，基板输送机构具有多个基板保持部，各基板保持部构成为保持1张基板，控制部在处理模块逐张处理基板的情况下控制基板输送机构，以使第1基板保持部在加载部与处理模块之间输送基板，第2基板保持部在加载互锁室与处理模块之间输送基板，在处理模块同时处理多张基板的情况下控制基板输送机构，以使多个基板保持部在加载部、加载互锁室以及处理模块之间同时输送多张基板。

公开(公告)号：CN112956010B

公开(公告)日：2024-07-23

申请号：CN201980072936.6

申请日：2019-09-03

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 远藤荣几 ,  金丸秀忠 ,  齐藤泰宏 ,  长久保启一 ,  坂本仪秀 ,  岩崎智德

IPC: H01L21/677

Abstract: 一种基板处理装置，其具有加载部、加载互锁室、处理模块、基板输送机构、以及控制部，基板输送机构具有多个基板保持部，各基板保持部构成为保持1张基板，控制部在处理模块逐张处理基板的情况下控制基板输送机构，以使第1基板保持部在加载部与处理模块之间输送基板，第2基板保持部在加载互锁室与处理模块之间输送基板，在处理模块同时处理多张基板的情况下控制基板输送机构，以使多个基板保持部在加载部、加载互锁室以及处理模块之间同时输送多张基板。

公开(公告)号：CN112930592A

公开(公告)日：2021-06-08

申请号：CN201980071030.2

申请日：2019-10-23

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 远藤荣几 ,  高塚宏行 ,  向山达也

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02

Abstract: 基板处理装置具有基板处理部和控制部。基板处理部具有加载埠，该加载埠构成为配置收容有至少一个基板的基板收容容器。基板处理部构成为从配置于加载埠的基板收容容器取出基板，并且对该基板实施一系列的处理。控制部构成为控制配置于加载埠的基板收容容器的盖的开闭。在将基板收容容器配置于加载埠后，控制部控制为打开盖。在基板处理部发生了异常状态并经过了预先决定的时间、并且在从基板收容容器取出的基板中没有能够回收至所述基板收容容器中的基板的情况下，控制部控制为关闭盖。