公开(公告)号：CN112930592A

公开(公告)日：2021-06-08

申请号：CN201980071030.2

申请日：2019-10-23

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 远藤荣几 ,  高塚宏行 ,  向山达也

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02

Abstract: 基板处理装置具有基板处理部和控制部。基板处理部具有加载埠，该加载埠构成为配置收容有至少一个基板的基板收容容器。基板处理部构成为从配置于加载埠的基板收容容器取出基板，并且对该基板实施一系列的处理。控制部构成为控制配置于加载埠的基板收容容器的盖的开闭。在将基板收容容器配置于加载埠后，控制部控制为打开盖。在基板处理部发生了异常状态并经过了预先决定的时间、并且在从基板收容容器取出的基板中没有能够回收至所述基板收容容器中的基板的情况下，控制部控制为关闭盖。

公开(公告)号：CN112930592B

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN201980071030.2

申请日：2019-10-23

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 远藤荣几 ,  高塚宏行 ,  向山达也

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02

Abstract: 基板处理装置具有基板处理部和控制部。基板处理部具有加载埠，该加载埠构成为配置收容有至少一个基板的基板收容容器。基板处理部构成为从配置于加载埠的基板收容容器取出基板，并且对该基板实施一系列的处理。控制部构成为控制配置于加载埠的基板收容容器的盖的开闭。在将基板收容容器配置于加载埠后，控制部控制为打开盖。在基板处理部发生了异常状态并经过了预先决定的时间、并且在从基板收容容器取出的基板中没有能够回收至所述基板收容容器中的基板的情况下，控制部控制为关闭盖。

公开(公告)号：CN116210078A

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN202180063757.3

申请日：2021-09-10

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 中込涉 ,  村川章太郎 ,  佐藤直之 ,  仙头史孝 ,  向山达也 ,  窪田茂 ,  平出圭介

IPC: H01L21/677

Abstract: 一种方法，在具备对基板实施期望的处理的至少一个处理部以及对所述处理部搬送基板的搬送部的处理系统中将要连续处理的多个基板从所述搬送部搬送到所述处理部，在所述方法中，预先对多个所述基板各分别分配用于任意地变更针对该基板的处理时间的调整值，所述方法包括以下工序：获取分配给本次处理的第一基板的所述调整值；获取分配给在所述第一基板之前进行了处理的基准基板的基准调整值；获取对所述基准基板进行的实际的处理时间即实际时间；通过使分配给所述第一基板的所述调整值与所述基准调整值之差反映到所述实际时间中，来计算第一基板的预测处理时间；以及基于计算出的所述预测处理时间来调整在所述第一基板之后处理的第二基板的搬送定时。