公开(公告)号：CN112956010B

公开(公告)日：2024-07-23

申请号：CN201980072936.6

申请日：2019-09-03

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 远藤荣几 ,  金丸秀忠 ,  齐藤泰宏 ,  长久保启一 ,  坂本仪秀 ,  岩崎智德

IPC: H01L21/677

Abstract: 一种基板处理装置，其具有加载部、加载互锁室、处理模块、基板输送机构、以及控制部，基板输送机构具有多个基板保持部，各基板保持部构成为保持1张基板，控制部在处理模块逐张处理基板的情况下控制基板输送机构，以使第1基板保持部在加载部与处理模块之间输送基板，第2基板保持部在加载互锁室与处理模块之间输送基板，在处理模块同时处理多张基板的情况下控制基板输送机构，以使多个基板保持部在加载部、加载互锁室以及处理模块之间同时输送多张基板。

公开(公告)号：CN112956010A

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201980072936.6

申请日：2019-09-03

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 远藤荣几 ,  金丸秀忠 ,  齐藤泰宏 ,  长久保启一 ,  坂本仪秀 ,  岩崎智德

IPC: H01L21/677

Abstract: 一种基板处理装置，其具有加载部、加载互锁室、处理模块、基板输送机构、以及控制部，基板输送机构具有多个基板保持部，各基板保持部构成为保持1张基板，控制部在处理模块逐张处理基板的情况下控制基板输送机构，以使第1基板保持部在加载部与处理模块之间输送基板，第2基板保持部在加载互锁室与处理模块之间输送基板，在处理模块同时处理多张基板的情况下控制基板输送机构，以使多个基板保持部在加载部、加载互锁室以及处理模块之间同时输送多张基板。