公开(公告)号：CN108293292A

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201780004093.7

申请日：2017-03-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 森嶋雅人 ,  岩渕胜彦 ,  布濑晓志 ,  藤本円华 ,  西出大亮

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/509 ,  H01L21/31 ,  H01L21/316 ,  H01L21/312

Abstract: 等离子电极(30)具备中间电极板(60)、接地板(40)以及被配置在中间电极板(60)与接地板(40)之间的中间绝缘板(50)。中间电极板(60)的凸部(61)被配置于接地板(40)的贯通孔(42)以及中间绝缘板(50)的贯通孔(52)的内侧。被设置在凸部(61)的中心轴的贯通孔(62)或者被设置在贯通孔(42)的周围的贯通孔(41)的任意一方将第一处理气体向接地板(40)的下方排出。贯通孔(62)或者贯通孔(41)的任意另一方排出接地板(40)的下方的气体。凸部(61)的周围的第二流路对凸部(61)的外侧壁与贯通孔(42)的内侧壁之间的间隙供给经由第一流路(68)所供给的第二处理气体。供给到该间隙的第二处理气体通过施加到中间电极板(60)的高频电力而在该间隙内被等离子化。

公开(公告)号：CN1854839A

公开(公告)日：2006-11-01

申请号：CN200610072118.0

申请日：2006-04-12

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 岩渕胜彦

IPC: G02F1/1333 ,  B65G49/06 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67248 ,  C23C16/4586 ,  C23C16/46 ,  C23C16/54 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67201

Abstract: 本发明提供一种可适宜地调节基板温度的负载锁定装置及处理方法。该负载锁定装置包括：设置在相对外部搬入搬出基板的搬入搬出部一侧的搬入口和设置在处理基板的处理部一侧的搬出口，其中，具有加热基板(G)的加热用板(71)，所述加热用板(71)包括由多孔质材料构成的板主体(75)和向板主体内供给已加热的加热用气体的加热用气体供给路(76)。加热用气体通过板主体(75)，并从板主体(75)的表面喷出，向基板(G)供给。

公开(公告)号：CN1854839B

公开(公告)日：2011-11-09

申请号：CN200610072118.0

申请日：2006-04-12

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 岩渕胜彦

IPC: G02F1/1333 ,  B65G49/06 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67248 ,  C23C16/4586 ,  C23C16/46 ,  C23C16/54 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67201

Abstract: 本发明提供一种可适宜地调节基板温度的负载锁定装置及处理方法。该负载锁定装置包括：设置在相对外部搬入搬出基板的搬入搬出部一侧的搬入口和设置在处理基板的处理部一侧的搬出口，其中，具有加热基板(G)的加热用板(71)，所述加热用板(71)包括由多孔质材料构成的板主体(75)和向板主体内供给已加热的加热用气体的加热用气体供给路(76)。加热用气体通过板主体(75)，并从板主体(75)的表面喷出，向基板(G)供给。

公开(公告)号：CN100426454C

公开(公告)日：2008-10-15

申请号：CN200610065956.5

申请日：2006-03-29

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 岩渕胜彦

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  C23C16/44

CPC classification number: H01L21/67201

Abstract: 本发明提供一种能够恰当地加热或冷却基板的负载锁定装置、具有该负载锁定装置的处理系统及使用该负载锁定装置的处理方法。包括相对于处理部(3)设置在搬入搬出基板(G)的搬入搬出部(2)一侧的搬入口(63)、在处理部(3)一侧设置的搬出口(64)和支撑基板的支撑部件(78)的负载锁定装置(21)，其中，还包括加热由支撑部件(78)支撑的基板(G)的第一加热用平板(71)以及第二加热用平板(72)，所述第一加热用平板(71)以及第二加热用平板(72)的一方配置在基板(G)的表面一侧，另一方配置在基板(G)的背面一侧。

公开(公告)号：CN108293292B

公开(公告)日：2020-08-18

申请号：CN201780004093.7

申请日：2017-03-07

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 森嶋雅人 ,  岩渕胜彦 ,  布濑晓志 ,  藤本円华 ,  西出大亮

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/509 ,  H01L21/31 ,  H01L21/316 ,  H01L21/312

Abstract: 等离子电极(30)具备中间电极板(60)、接地板(40)以及被配置在中间电极板(60)与接地板(40)之间的中间绝缘板(50)。中间电极板(60)的凸部(61)被配置于接地板(40)的贯通孔(42)以及中间绝缘板(50)的贯通孔(52)的内侧。被设置在凸部(61)的中心轴的贯通孔(62)或者被设置在贯通孔(42)的周围的贯通孔(41)的任意一方将第一处理气体向接地板(40)的下方排出。贯通孔(62)或者贯通孔(41)的任意另一方排出接地板(40)的下方的气体。凸部(61)的周围的第二流路对凸部(61)的外侧壁与贯通孔(42)的内侧壁之间的间隙供给经由第一流路(68)所供给的第二处理气体。供给到该间隙的第二处理气体通过施加到中间电极板(60)的高频电力而在该间隙内被等离子化。

公开(公告)号：CN1841652A

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：CN200610065956.5

申请日：2006-03-29

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 岩渕胜彦

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  C23C16/44

CPC classification number: H01L21/67201

Abstract: 本发明提供一种能够恰当地加热或冷却基板的负载锁定装置、具有该负载锁定装置的处理系统及使用该负载锁定装置的处理方法。包括相对于处理部(3)设置在搬入搬出基板(G)的搬入搬出部(2)一侧的搬入口(63)、在处理部(3)一侧设置的搬出口(64)和支撑基板的支撑部件(78)的负载锁定装置(21)，其中，还包括加热由支撑部件(78)支撑的基板(G)的第一加热用平板(71)以及第二加热用平板(72)，所述第一加热用平板(71)以及第二加热用平板(72)的一方配置在基板(G)的表面一侧，另一方配置在基板(G)的背面一侧。