公开(公告)号：CN104812503A

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201380016312.5

申请日：2013-11-25

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 村松诚 ,  北野高广 ,  富田忠利 ,  田内启士

IPC: B05D7/24 ,  B05C9/14 ,  B05D3/02 ,  B05D3/10 ,  G03F7/004 ,  G03F7/38 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/0271 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02337 ,  H01L21/31138 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/68742

Abstract: 在本发明中，在基板上形成图案时，在基板上形成至少包括两种聚合物的嵌段共聚物的膜，在溶剂蒸气氛围下对该嵌段共聚物的膜进行加热，使得嵌段共聚物相分离，除去被相分离的嵌段共聚物的膜中的一种聚合物，因此，能够促进嵌段共聚物的聚合物的流动化，能够促进相分离。

公开(公告)号：CN104812503B

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201380016312.5

申请日：2013-11-25

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 村松诚 ,  北野高广 ,  富田忠利 ,  田内启士

IPC: B05D7/24 ,  B05C9/14 ,  B05D3/02 ,  B05D3/10 ,  G03F7/004 ,  G03F7/38 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/0271 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02337 ,  H01L21/31138 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/68742

Abstract: 在本发明中，在基板上形成图案时，在基板上形成至少包括两种聚合物的嵌段共聚物的膜，在溶剂蒸气氛围下对该嵌段共聚物的膜进行加热，使得嵌段共聚物相分离，除去被相分离的嵌段共聚物的膜中的一种聚合物，因此，能够促进嵌段共聚物的聚合物的流动化，能够促进相分离。