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公开(公告)号：CN111809166A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010254572.8
申请日：2020-04-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: C23C16/52 , C23C16/455
Abstract: 本发明提供一种能够缩短制程时间的处理装置和处理方法。处理装置是进行基板的处理的处理装置，其具备多个终端设备、控制特定的终端设备的下位控制部以及控制部。控制部执行处理基板的制程，来确定制程的多个控制步骤中的满足特定的条件的控制步骤，将确定出的控制步骤发送到下位控制部。下位控制部基于从控制部接收到的控制步骤来控制对应的特定的终端设备。
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