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公开(公告)号：CN1749859A
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN200510104055.8
申请日：2005-09-14
Applicant: 东京応化工业株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供一种在通过基板背面侧的气流中几乎不包含雾状涂敷液、从而涂敷液不会附着到基板背面上的涂敷装置。当基板(W)旋转且空间(S)内成为减压状态后，仅有纯空气从基板(W)的外周缘透过冲孔板(8)并穿过挡雾装置(10)与水平部(7)之间的间隙，从通气用的开口(9)穿过水平部(7)的上表面与基板(W)的下表面之间的间隙向径向外侧流动，另一方面，从基板(W)的外周缘飞出的线状的剩余涂敷液在穿过冲孔板(8)之时被截留从而被冲孔板捕捉到，对于雾，虽然会穿过冲孔板(8)但是在挡雾装置(10)处被捕捉到，结果，在从通气用的开口(9)朝向水平部(7)的上表面和基板(W)的下表面之间的间隙的气流中，不包含涂敷液及雾，从而涂敷液不会附着到基板(W)的下表面上。
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