公开(公告)号：CN1388414A

公开(公告)日：2003-01-01

申请号：CN02141011.9

申请日：2002-05-17

Applicant: 东京応化工业株式会社

Inventor： 越山淳 ,  胁屋和正

IPC: G03F7/11 ,  H05K3/28

CPC classification number: H01L21/76808 ,  Y10T428/1419 ,  Y10T428/15 ,  Y10T428/31725

Abstract: 提供一种将埋入材料向通孔中填充时,埋入性和平坦性都优异的保护膜形成用材料,其特征是:含有有机溶剂和至少具有2个以上的脂环结构的化合物。另外,作为上述化合物,可以是从螺环烃化合物、二环单萜烯化合物、金刚烷化合物和甾类化合物中选出的至少一种。

公开(公告)号：CN100446189C

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：CN01137231.1

申请日：2001-09-05

Applicant: 东京応化工业株式会社

Inventor： 岛井太 ,  越山淳 ,  平康充

IPC: H01L21/304 ,  B08B3/08

Abstract: 提供一种能够使洗涤液合当而且不浪费的充分使用的供给系统。在第一洗涤位置使用的洗涤液通过送给管12送至使用过的液贮存罐2中。而且，使用过的液贮存罐2的使用过的洗涤液通过供给管21送至第二洗涤位置，供基板边缘部洗涤或杯内洗涤。此外，在第二洗涤位置使用的洗涤液则通过返回管30及分支配管32回收至使用过的液贮存罐3中。

公开(公告)号：CN100346230C

公开(公告)日：2007-10-31

申请号：CN02141011.9

申请日：2002-05-17

Applicant: 东京応化工业株式会社

Inventor： 越山淳 ,  胁屋和正

IPC: G03F7/11 ,  H05K3/28

CPC classification number: H01L21/76808 ,  Y10T428/1419 ,  Y10T428/15 ,  Y10T428/31725

Abstract: 提供一种将埋入材料向通孔中填充时，埋入性和平坦性都优异的保护膜形成用材料，其特征是：含有有机溶剂和至少具有2个以上的脂环结构的化合物。另外，作为上述化合物，可以是从螺环烃化合物、二环单萜烯化合物、金刚烷化合物和甾类化合物中选出的至少一种。