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发明授权
洗涤液的供给系统失效复审申请

公开(公告)号：CN100446189C

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：CN01137231.1

申请日：2001-09-05

Applicant: 东京応化工业株式会社

Inventor： 岛井太 , 越山淳 , 平康充

IPC: H01L21/304 , B08B3/08

Abstract: 提供一种能够使洗涤液合当而且不浪费的充分使用的供给系统。在第一洗涤位置使用的洗涤液通过送给管12送至使用过的液贮存罐2中。而且，使用过的液贮存罐2的使用过的洗涤液通过供给管21送至第二洗涤位置，供基板边缘部洗涤或杯内洗涤。此外，在第二洗涤位置使用的洗涤液则通过返回管30及分支配管32回收至使用过的液贮存罐3中。

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