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公开(公告)号：CN100446189C
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN01137231.1
申请日：2001-09-05
Applicant: 东京応化工业株式会社
IPC: H01L21/304 , B08B3/08
Abstract: 提供一种能够使洗涤液合当而且不浪费的充分使用的供给系统。在第一洗涤位置使用的洗涤液通过送给管12送至使用过的液贮存罐2中。而且，使用过的液贮存罐2的使用过的洗涤液通过供给管21送至第二洗涤位置，供基板边缘部洗涤或杯内洗涤。此外，在第二洗涤位置使用的洗涤液则通过返回管30及分支配管32回收至使用过的液贮存罐3中。
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公开(公告)号：CN100412486C
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200410055261.X
申请日：2004-06-26
Applicant: 东京応化工业株式会社
IPC: F26B13/20
Abstract: 本发明提供一种由基板表面的雾气变成的飞散量极少的干燥装置。在输送到输送滚子(2)上的基板(W)的上面附着的液体通过来自上部气刀(11)的空气被压入基板上面和上部整流板(10)之间的间隙中，被压入的液体通过在基板上面和上部整流板(10)之间形成的向上游侧的气流和来自上部气刀(11)的空气沿着基板上面向在上游侧且倾斜配置的上部整流板(10)一侧压出，最后从基板(W)上面流向上部排气装置(6)，并排放到干燥装置外部。
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公开(公告)号：CN100450643C
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200510067722.X
申请日：2005-03-24
Applicant: 东京応化工业株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供一种狭缝喷嘴调整装置和使用所述调整装置的狭缝喷嘴调整方法，不发生狭缝喷嘴清洗不均匀，而且能够节约清洗液，结构紧凑。开有所定宽度的涂敷液喷出口的狭缝喷嘴前端的调整装置由清洗狭缝喷嘴的浸渍式清洗部、干燥清洗后的喷嘴的干燥部及调整狭缝喷嘴的喷出口的预混合部构成？，而且设置在同一装置上。浸渍式清洗部在超过一定时间不使用狭缝喷嘴时兼作干燥防止部，保持浸渍狭缝喷嘴的前端。
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公开(公告)号：CN100376330C
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200410032967.4
申请日：2004-04-14
Applicant: 东京応化工业株式会社
Abstract: 本发明提供可以简单地加工狭缝喷嘴、且不引起毛细管现象的狭缝喷嘴及使用该狭缝喷嘴的处理液供给装置。本发明涉及按设定宽度在被处理物表面供给处理液的狭缝喷嘴，前述狭缝喷嘴1采用左右半体(2)、(3)合并构成，其中一边的材质为金属材料、另一边的材质为树脂材料，另外具有该狭缝喷嘴的处理液供给装置，在调温的处理液的循环回路(8)的设定部位设置前述狭缝喷嘴。
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公开(公告)号：CN100487587C
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200410055030.9
申请日：2004-06-10
Applicant: 东京応化工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种可以利用简单的结构构成使基板产生倾斜移动，进而可以短时间高效率地回收显像液的显像装置。该装置可以在上升之前，使升降部(13)的上端部处于比滚子(6)还要低的位置处，使其不会与基板W形成干涉，随着臂部件(8)的上升动作，升降部(13)将从滚子(6、6)之间向上方伸出，对基板(W)的背面实施支持，使其向上倾斜移动。通过这种倾斜移动可以使位于基板(W)的表面上的显像液从一端流下的，回收到显像液回收部件15的内部，随后再通过滚子搬运基板，使其移动到漂洗液的供给·回收部(4)处。对于漂洗液，可以将原先供给的漂洗液在被污染后原样排出，经过预定的时间之后，对该漂洗液实施回收。之后，通过滚子将玻璃基板朝向干燥部(5)实施搬运。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100405544C
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200410055260.5
申请日：2004-06-26
Applicant: 东京応化工业株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/30
Abstract: 本发明提供一种不增加运送线的长度、不产生显影不均匀的一字排列式显影处理装置。对于在表面上形成了曝光过的抗蚀剂膜的基板(W)，在显影液供给部(2)中向表面供给显影液，在运送的同时进行显影反应，然后在显影液回收部(4)中回收显影液，之后在漂洗液供给·回收部(6)中进行清洗和清洗液回收，最后送至干燥部(8)。在这一系列显影处理的过程中，在基板进入下游侧的处理部的情况下，于该处理部之前的待机部、例如该处理部是显影液回收部(4)的情况下，在其之前的待机部(3)中，使滚轮(10a)重复进行正反旋转，基板(W)往返移动。结果是，在基板(W)的背面，与滚轮(10a)接触的部分始终移动而不停止在一个部位上，基板的温度分布是均匀的。
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公开(公告)号：CN1576763A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410055261.X
申请日：2004-06-26
Applicant: 东京応化工业株式会社
IPC: F26B13/20
Abstract: 本发明提供一种由基板表面的雾气变成的飞散量极少的干燥装置。在输送到输送滚子(2)上的基板(W)的上面附着的液体通过来自上部气刀(11)的空气被压入基板上面和上部整流板(10)之间的间隙中，被压入的液体通过在基板上面和上部整流板(10)之间形成的向上游侧的气流和来自上部气刀(11)的空气沿着基板上面向在上游侧且倾斜配置的上部整流板(10)一侧压出，最后从基板(W)上面流向上部排气装置(6)，并排放到干燥装置外部。
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公开(公告)号：CN1541779A
公开(公告)日：2004-11-03
申请号：CN200410032967.4
申请日：2004-04-14
Applicant: 东京応化工业株式会社
Abstract: 本发明提供可以简单地加工狭缝喷嘴、且不引起毛细管现象的狭缝喷嘴及使用该狭缝喷嘴的处理液供给装置。本发明涉及按设定宽度在被处理物表面供给处理液的狭缝喷嘴，前述狭缝喷嘴1采用左右半体(2)、(3)合并构成，其中一边的材质为金属材料、另一边的材质为树脂材料，另外具有该狭缝喷嘴的处理液供给装置，在调温的处理液的循环回路(8)的设定部位设置前述狭缝喷嘴。
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公开(公告)号：CN1672806A
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN200510067722.X
申请日：2005-03-24
Applicant: 东京応化工业株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供一种狭缝喷嘴调整装置和使用所述调整装置的狭缝喷嘴调整方法，不发生狭缝喷嘴清洗不均匀，而且能够节约清洗液，结构紧凑。开有所定宽度的涂敷液喷出口的狭缝喷嘴前端的调整装置由清洗狭缝喷嘴的浸渍式清洗部、干燥清洗后的喷嘴的干燥部及调整狭缝喷嘴的喷出口的预混合部构成，而且设置在同一装置上。浸渍式清洗部在超过一定时间不使用狭缝喷嘴时兼作干燥防止部，保持浸渍狭缝喷嘴的前端。
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公开(公告)号：CN1584744A
公开(公告)日：2005-02-23
申请号：CN200410055030.9
申请日：2004-06-10
Applicant: 东京応化工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种可以利用简单的结构构成使基板产生倾斜移动，进而可以短时间高效率地回收显像液的显像装置。该装置可以在上升之前，使升降部(13)的上端部处于比滚子(6)还要低的位置处，使其不会与基板W形成干涉，随着臂部件(8)的上升动作，升降部(13)将从滚子(6、6)之间向上方伸出，对基板(W)的背面实施支持，使其向上倾斜移动。通过这种倾斜移动可以使位于基板(W)的表面上的显像液从一端流下的，回收到显像液回收部件15的内部，随后再通过滚子搬运基板，使其移动到漂洗液的供给·回收部(4)处。对于漂洗液，可以将原先供给的漂洗液在被污染后原样排出，经过预定的时间之后，对该漂洗液实施回收。之后，通过滚子将玻璃基板朝向干燥部(5)实施搬运。
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