公开(公告)号：CN1816776A

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：CN200480019259.5

申请日：2004-07-07

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 羽田英夫 ,  佐佐木一仁 ,  藤村悟史 ,  岩井武

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/40 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111

Abstract: 公开了一种抗蚀剂组合物，该抗蚀剂组合物能够使用收缩处理形成良好的抗蚀图案，在收缩处理中，在形成抗蚀图案后，使用诸如加热的处理使抗蚀图案变窄，并且还公开了一种层压材料以及一种使用这样的抗蚀剂组合物形成抗蚀图案的方法。该抗蚀剂组合物包括在酸作用下显示改变的碱溶解度的树脂组分(A)和通过曝光生成酸的酸生成剂组分(B)。组分(A)含有衍生自(甲基)丙烯酸酯的结构单元，并且其玻璃化转变温度在120到170℃范围内。