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公开(公告)号：CN109562323A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201780047301.1
申请日：2017-07-31
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明提供能够良好地减少粘性液体中的气泡数量的粘性液体的纯化方法、以及在该纯化方法中可合适地用作过滤器的多孔膜的制造方法。使用下述过滤器对粘度为0.1Pa·s以上的粘性液体进行过滤，所述过滤器包含利用下述制造方法得到的多孔膜、或具有包含球状孔或近球状孔相互连通而成的结构的连通孔的多孔膜，所述制造方法包括下述工序：将包含树脂成分(A)、粒子(B)及溶剂(S)的清漆涂布在基板上，形成包含树脂成分(A)和粒子(B)的复合膜；以及，除去复合膜中的粒子(B)。
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公开(公告)号：CN114008525A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202080044627.0
申请日：2020-05-20
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 抗蚀剂组合物纯化品的制造方法,其包括工序(ⅰ)，即利用具有相邻的球状孔室彼此连通的多孔质结构的过滤器对抗蚀剂组合物进行过滤，上述过滤器具备多孔质膜，所述多孔质膜含有选自由聚酰亚胺及聚酰胺酰亚胺组成的组中的至少一种树脂，上述抗蚀剂组合物含有对显影液的溶解性因酸的作用而发生变化的基材成分(A)、鎓盐、和有机溶剂成分(S)，上述有机溶剂成分(S)的含量为97质量％以上。
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公开(公告)号：CN106552517A
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201610862403.6
申请日：2016-09-28
Applicant: 东京应化工业株式会社
CPC classification number: G03F7/322 , B01D61/00 , B01D67/0002 , B01D67/0023 , B01D67/003 , B01D67/0032 , B01D67/0088 , B01D67/0093 , B01D69/02 , B01D71/40 , B01D71/64 , B01D2323/12 , B01D2323/18 , B01D2325/021 , B32B5/16 , C08J9/26 , C08J2201/04 , G03F7/0045 , G03F7/0397 , G03F7/091 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2006 , G03F7/40 , G03F7/004 , G03F7/26
Abstract: 本发明提供具备聚酰亚胺系树脂多孔膜的、用于过滤光刻用药液的屏障过滤器。本发明提供包括使光刻用药液通过该屏障过滤器的操作的过滤方法。本发明提供具有利用该过滤方法过滤光刻用药液的工序的光刻用药液纯化品的制造方法。
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公开(公告)号：CN114008525B
公开(公告)日：2025-05-23
申请号：CN202080044627.0
申请日：2020-05-20
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 抗蚀剂组合物纯化品的制造方法,其包括工序(ⅰ)，即利用具有相邻的球状孔室彼此连通的多孔质结构的过滤器对抗蚀剂组合物进行过滤，上述过滤器具备多孔质膜，所述多孔质膜含有选自由聚酰亚胺及聚酰胺酰亚胺组成的组中的至少一种树脂，上述抗蚀剂组合物含有对显影液的溶解性因酸的作用而发生变化的基材成分(A)、鎓盐、和有机溶剂成分(S)，上述有机溶剂成分(S)的含量为97质量％以上。
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公开(公告)号：CN109562323B
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN201780047301.1
申请日：2017-07-31
Applicant: 东京应化工业株式会社
Abstract: 本发明提供能够良好地减少粘性液体中的气泡数量的粘性液体的纯化方法、以及在该纯化方法中可合适地用作过滤器的多孔膜的制造方法。使用下述过滤器对粘度为0.1Pa·s以上的粘性液体进行过滤，所述过滤器包含利用下述制造方法得到的多孔膜、或具有包含球状孔或近球状孔相互连通而成的结构的连通孔的多孔膜，所述制造方法包括下述工序：将包含树脂成分(A)、粒子(B)及溶剂(S)的清漆涂布在基板上，形成包含树脂成分(A)和粒子(B)的复合膜；以及，除去复合膜中的粒子(B)。
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