公开(公告)号：CN106552517B

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN201610862403.6

申请日：2016-09-28

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 中田明彦 ,  森冈章仁 ,  菅原司

IPC: B01D71/64 ,  B01D61/00 ,  G03F7/26 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供具备聚酰亚胺系树脂多孔膜的、用于过滤光刻用药液的屏障过滤器。本发明提供包括使光刻用药液通过该屏障过滤器的操作的过滤方法。本发明提供具有利用该过滤方法过滤光刻用药液的工序的光刻用药液纯化品的制造方法。

公开(公告)号：CN106552517A

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201610862403.6

申请日：2016-09-28

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 中田明彦 ,  森冈章仁 ,  菅原司

IPC: B01D71/64 ,  B01D61/00 ,  G03F7/26 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/322 ,  B01D61/00 ,  B01D67/0002 ,  B01D67/0023 ,  B01D67/003 ,  B01D67/0032 ,  B01D67/0088 ,  B01D67/0093 ,  B01D69/02 ,  B01D71/40 ,  B01D71/64 ,  B01D2323/12 ,  B01D2323/18 ,  B01D2325/021 ,  B32B5/16 ,  C08J9/26 ,  C08J2201/04 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/091 ,  G03F7/16 ,  G03F7/162 ,  G03F7/168 ,  G03F7/2006 ,  G03F7/40 ,  G03F7/004 ,  G03F7/26

Abstract: 本发明提供具备聚酰亚胺系树脂多孔膜的、用于过滤光刻用药液的屏障过滤器。本发明提供包括使光刻用药液通过该屏障过滤器的操作的过滤方法。本发明提供具有利用该过滤方法过滤光刻用药液的工序的光刻用药液纯化品的制造方法。