公开(公告)号：CN114008525A

公开(公告)日：2022-02-01

申请号：CN202080044627.0

申请日：2020-05-20

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 中田明彦 ,  安部未来 ,  斋藤弘树

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  B01D61/58 ,  B01D69/00 ,  B01D69/02 ,  B01D69/12 ,  B01D71/64 ,  G03F7/26

Abstract: 抗蚀剂组合物纯化品的制造方法,其包括工序(ⅰ)，即利用具有相邻的球状孔室彼此连通的多孔质结构的过滤器对抗蚀剂组合物进行过滤，上述过滤器具备多孔质膜，所述多孔质膜含有选自由聚酰亚胺及聚酰胺酰亚胺组成的组中的至少一种树脂，上述抗蚀剂组合物含有对显影液的溶解性因酸的作用而发生变化的基材成分(A)、鎓盐、和有机溶剂成分(S)，上述有机溶剂成分(S)的含量为97质量％以上。

公开(公告)号：CN114008525B

公开(公告)日：2025-05-23

申请号：CN202080044627.0

申请日：2020-05-20

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 中田明彦 ,  安部未来 ,  斋藤弘树

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  B01D61/58 ,  B01D69/00 ,  B01D69/02 ,  B01D69/12 ,  B01D71/64 ,  G03F7/26

Abstract: 抗蚀剂组合物纯化品的制造方法,其包括工序(ⅰ)，即利用具有相邻的球状孔室彼此连通的多孔质结构的过滤器对抗蚀剂组合物进行过滤，上述过滤器具备多孔质膜，所述多孔质膜含有选自由聚酰亚胺及聚酰胺酰亚胺组成的组中的至少一种树脂，上述抗蚀剂组合物含有对显影液的溶解性因酸的作用而发生变化的基材成分(A)、鎓盐、和有机溶剂成分(S)，上述有机溶剂成分(S)的含量为97质量％以上。