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公开(公告)号：CN106933072B
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201511025832.X
申请日：2015-12-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司 , 上海微高精密机械工程有限公司
Abstract: 本发明涉及一种调焦调平测量系统及其校准方法，该系统包括测量分系统和校准分系统，测量分系统包括第一照明单元、第一投影单元、第一探测透镜组及第一调焦探测器，校准分系统包括第二照明单元、第二投影单元、第二探测透镜组及第二调焦探测器，测量分系统与校准分系统关于硅平面的上表面呈轴对称分布，第一照明单元发出的光源经所述第一投影单元入射至硅平面的上表面，经反射后入射至第一探测透镜组并被第一调焦探测器接收；第二照明单元发出的光源经第二投影单元入射至硅平面的下表面，经反射后入射至第二探测透镜组并被第二调焦探测器接收。本发明在同一个系统中设置两套三角测量装置，能够进行交叉测量，从而快速识别漂移部位并进行有效补偿。
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公开(公告)号：CN114697536A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202011628798.6
申请日：2020-12-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明实施例公开了一种2K线阵相机和自动对相方法。该2K线阵相机包括CCD传感器线阵、数字板、模拟板以及传输线缆，数字板用于计算输出时钟返回信号CRS和寄存器输出时钟CR的传输相位差，并将传输相位差补偿至输出信号返回信号OSR与寄存器输出时钟CR的相位差中。本发明实施例能够实现相位自动校准功能，动态地减少相机寄存器输出时钟与相机输出信号的时序相位因传输线缆受外在干扰、自身老化等原因产生的相位偏差，保证输出信号返回信号OSR与寄存器输出时钟CR具有近乎相同的相位，降低图像像素灰度的准确度受线缆差异的影响。
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公开(公告)号：CN109426093B
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201710773193.8
申请日：2017-08-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种调焦调平检测装置，包括包括投影单元、探测单元和智能控制单元，所述投影单元发出入射光线入射到待测物表面形成区域测量标记，所述待测物将入射光线反射，形成携带有待测物表面信息的反射光线进入所述探测单元，所述智能控制单元对经过探测单元处理的反射光线进行再处理，得出所述待测物的位置信息。本发明所提供的调焦调平检测装置，区域测量标记可以覆盖待测物上一个区域，而不仅仅是单点，实现了区域测量，提高了效率，并且根据不同待测物可以采用不同大小的区域测量标记，从而提高了测量的准确性；并且采用智能控制单元，实现了实时测量。
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公开(公告)号：CN109426093A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201710773193.8
申请日：2017-08-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
CPC classification number: G03F7/70258 , G03F9/7026 , G03F9/7034
Abstract: 本发明提供了一种调焦调平检测装置，包括投影单元、探测单元和智能控制单元，所述投影单元发出入射光线入射到待测物表面形成区域测量标记，所述待测物将入射光线反射，形成携带有待测物表面信息的反射光线进入所述探测单元，所述智能控制单元对经过探测单元处理的反射光线进行再处理，得出所述待测物的位置信息。本发明所提供的调焦调平检测装置，区域测量标记可以覆盖待测物上一个区域，而不仅仅是单点，实现了区域测量，提高了效率，并且根据不同待测物可以采用不同大小的区域测量标记，从而提高了测量的准确性；并且采用智能控制单元，实现了实时测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114697535B
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202011628416.X
申请日：2020-12-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
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公开(公告)号：CN117666288A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202211056384.X
申请日：2022-08-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种调焦调平测量装置，包括照明单元、投影单元及探测单元，照明单元发出入射光线经投影单元投射于待测区域形成至少两个子光斑，至少两个子光斑的反射光携带待测区域的至少两个表面信息进入探测单元，利用至少两个表面信息获得待测区域的位置信息。本发明中，通过在待测区域的不同区域形成至少两个子光斑，或者在待测区域形成至少两个不同光波段的子光斑，在获取待测区域的更全面的表面信息时，还可利用不同子光斑对不同工艺片的敏感程度，提高调焦调平测量装置对不同工艺的适应性。
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公开(公告)号：CN116817742A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202210264483.0
申请日：2022-03-17
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G01B11/00 , H04N23/695 , H04N23/67
Abstract: 本发明公开了一种玻璃基板对准测量系统、方法和设备，其中，系统中上位机与第一运动控制模块连接，其用于根据上位机的第一指令控制所有线阵相机的焦面处于同一平面，并控制线阵相机按照第一预设路径进行步进；和/或，上位机与第二运动控制模块连接，其用于根据上位机的第二指令控制玻璃基板按照第二预设路径进行步进；玻璃基板按照线阵相机的分辨率划分有n个区域，线阵相机按照第一预设路径在扫描第m区域后形成第m区域的图像；上位机根据第m区域的图像获取第m区域中的各个芯片的位置，同时，线阵相机并行继续按照第一预设路径扫描第m+1区域形成第m+1区域的图像，m，n均为正整数，m小于n，以实现快速的获取各个芯片的精准位置。
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公开(公告)号：CN114697535A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202011628416.X
申请日：2020-12-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明实施例公开了一种光刻机多路同步调焦调平系统和方法，包括图像采集模块和主控模块；其中，图像采集模块中多个模拟信号处理模块均与数字信号处理模块电连接；主控模块向图像采集模块发送图像采集指令；数字信号处理模块按照同一时钟信号向多个模拟信号处理模块分别发送图像采集指令；模拟信号处理模块激励成像传感器采集图像信息；主控模块计算精确高度数据，以驱动光刻机运动台实现调焦调平。本发明可以解决现有多路图像调焦调平存在时延的问题，能够实现从采集命令触发到成像传感器采集和反馈均为同一时钟，改善多路成像传感器的图像采集的同步性以及实时性，保证多个调焦调平点的同步配置。
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公开(公告)号：CN208141124U
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201820695696.8
申请日：2018-05-10
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本实用新型提供一种图像控制器和调焦调平装置，所述图像控制器包括至少一组子图像控制器；所述子图像控制器包括图像筛选电路和图像定位电路；所述图像筛选电路用于从原始图像数据中筛选出符合预设条件的有效光斑数据；所述图像定位电路与所述图像筛选电路电连接，用于从所述图像筛选电路获取所述有效光斑数据，并根据所述有效光斑数据计算得到光斑定位信息。本实用新型提供一种图像控制器和调焦调平装置，以实现降低光学图像数据的处理时间和传输时间，提高调焦调平装置的工作效率。
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