公开(公告)号：CN112831752A

公开(公告)日：2021-05-25

申请号：CN202011644146.1

申请日：2020-12-31

Applicant: 上海应用技术大学

Inventor： 周琼 ,  仝旭 ,  张而耕 ,  黄彪 ,  陈永康 ,  陈伟 ,  方哲伦

IPC: C23C14/16 ,  C23C14/22 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明公开了一种C掺杂TiAlN涂层的制备方法，依次包括Ti、TiN、TiAlN和TiAlCN梯度复合涂层，其中，所述的TiAlCN层的制备方法为：启动AlTi靶，设置炉腔温度420‑480℃，真空度0.006‑0.010mbar，偏压大小‑80V，氮气的流量150‑160sccm，乙炔的流量20‑80sccm，通过AlTi靶材电流为90A‑110A，沉积持续时间20‑30min。该涂层的摩擦系数在0.25‑0.35，涂层的硬度在2800HV‑3500HV，耐腐蚀性能好，具有良好的市场前景，可以广泛应用于刀具、模具、航空航天、汽车零部件等产业。