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发明公开
ESD特性测试系统无效

公开(公告)号：CN105093087A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201410218481.3

申请日：2014-05-22

Applicant: 上海北京大学微电子研究院

Inventor： 张炯 , 高乐 , 张宁 , 王吉林 , 徐帆 , 程玉华

IPC: G01R31/26 , G01R31/28

Abstract: 一种基于labview控制的TLP测试系统，包括供电系统、脉冲发生系统、电压电流测试系统、漏电流测试系统、探针台系统、上位机，所述供电系统为一高压电源通为同轴电缆充电，所述脉冲发生系统包括同轴电缆、湿簧管、衰减器、滤波器，同轴电缆通过湿簧管经衰减器、滤波器后输出，所述电压电流测试系统是示波器通过同轴线采集衰减器两端电压信号并经USB传输至电脑，经labview处理后显示并存储，所述漏电流测试系统是继电器在脉冲结束后选通漏电流测试仪测试待测器件漏电，所述探针台系统是通过同轴线连接脉冲发生系统输出端至PM5探针台。本发明的有益效果：性能稳定、脉冲波形平坦、控制方便、测试精度高。

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