公开(公告)号：CN104391478B

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201410478032.2

申请日：2014-09-18

Applicant: 上海先进半导体制造股份有限公司

Inventor： 陈崇山 ,  沈震

IPC: G05B19/406 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种水平扩散炉的进舟系统及其马达电流的监控装置，监控装置包括监控电路和报警电路；监控电路连接到第一插座的第一至第六针脚，报警电路串联于第一插座的第七和第八针脚间。其中，监控电路包括：二极管，正极与第一针脚连接；第一电阻，一端与二极管负极连接，另一端接地；第二电阻，一端与二极管负极连接；第一电容，一端与第二电阻另一端连接，另一端接地；第三和第四电阻，串联后接于电源和地间；比较器，正输入端接于第三和第四电阻间，负输入端与第二电阻另一端连接；RS触发器，R端与比较器输出端连接，S端经第五电容与地连接；驱动用反相器，I1引脚与RS触发器输出端连接；报警输出继电器，接于驱动用反相器O1引脚和电源间。

公开(公告)号：CN104391478A

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201410478032.2

申请日：2014-09-18

Applicant: 上海先进半导体制造股份有限公司

Inventor： 陈崇山 ,  沈震

IPC: G05B19/406 ,  H01L21/67

CPC classification number: G05B19/406 ,  H01L21/67265

Abstract: 本发明提供一种水平扩散炉的进舟系统及其马达电流的监控装置，监控装置包括监控电路和报警电路；监控电路连接到第一插座的第一至第六针脚，报警电路串联于第一插座的第七和第八针脚间。其中，监控电路包括：二极管，正极与第一针脚连接；第一电阻，一端与二极管负极连接，另一端接地；第二电阻，一端与二极管负极连接；第一电容，一端与第二电阻另一端连接，另一端接地；第三和第四电阻，串联后接于电源和地间；比较器，正输入端接于第三和第四电阻间，负输入端与第二电阻另一端连接；RS触发器，R端与比较器输出端连接，S端经第五电容与地连接；驱动用反相器，I1引脚与RS触发器输出端连接；报警输出继电器，接于驱动用反相器O1引脚和电源间。

公开(公告)号：CN111308981A

公开(公告)日：2020-06-19

申请号：CN201811510623.8

申请日：2018-12-11

Applicant: 上海先进半导体制造股份有限公司

Inventor： 晁磊 ,  陈崇山 ,  沈震

IPC: G05B23/02

Abstract: 本发明公开了一种源瓶控制器监控系统。本发明的源瓶控制器监控系统包括源瓶控制器、扩散炉及电连接线，源瓶控制器包括温度模拟量输出端口，扩散炉包括气体接口板，气体接口板具有流量计输出端口，电连接线的两端分别接入温度模拟量输出端口及流量计输出端口；扩散炉还包括控制器和显示器，控制器连接至流量计输出端口，控制器配置为，接收自温度模拟量输出端口输出并经流量计输出端口传输的电压信号，并将电压信号转换为温度读数，由显示器显示温度读数。本发明的源瓶控制器监控系统，能够利用扩散炉设备的显示器直接监视源瓶控制器的监测温度，并且及时发现故障及断电的发生，从而有助于减少源瓶控制器异常导致的扔片，提高设备的可靠性。