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公开(公告)号:CN101921991A
公开(公告)日:2010-12-22
申请号:CN201010275281.3
申请日:2010-09-07
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种材料表面改性技术领域的提高铜膜抗氧化性能的等离子浸没离子注入方法,包括如下步骤:取普通玻璃基片若干,将其先后置于去离子水和有机溶剂中超声清洗,烘干备用;将清洗后的玻璃基片固定在磁控溅射设备样品台上,采用沉积工艺制备铜膜;将沉积所得均匀铜膜取出并放置于等离子浸没离子注入设备上,利用金属棒作为靶源,进行离子注入处理,将所得铜膜置于加热炉氧化。本发明可以明显提高铜膜的抗氧化性能,且不存在改性层和铜膜之间的膜基结合力问题,等离子浸没离子注入技术是一种具有高度环保性的新型材料表面改性技术,且制备铜膜的磁控溅射技术也是一种无公害的膜沉积技术,故本发明具有高度的环保性。
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公开(公告)号:CN101144770B
公开(公告)日:2010-12-22
申请号:CN200710044482.0
申请日:2007-08-02
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种测量技术领域的测量硅基体与膜基结合强度的方法。本发明方法为:在硅基底背面使用刻蚀法制作带窗口的图案,在窗口中预留部分基体作为加载的平台,基底正面的薄膜暴露在背面的窗口中,当预留下的基体受压穿透基体并带动薄膜脱离基体时,记录发生的最大法向位移,由已有的公式得出自由能释放率,以此表征膜基体系的结合强度。本发明能克服已有检测设备定性测量或样品尺寸要求高的不足,可以依靠现有设备及成熟的制样工艺,利用接触式背面穿透法较快速地定量检测复杂形状下膜基结合强度的方法。
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公开(公告)号:CN100494474C
公开(公告)日:2009-06-03
申请号:CN200710041966.X
申请日:2007-06-14
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种提高普通碳钢抗菌防锈性能的方法,属于材料技术领域的表面处理方法。本发明包括:在研磨抛光至镜面光洁度的普通碳钢试样表面,用离子镀的方法沉积Ni-Cr膜;然后用离子注入的方法,对镀膜后的样品进行铜或银离子注入。通过离子镀和离子注入双重方法使普通碳钢既具有抗菌又具有防锈性能。经此工艺处理后的普通碳钢可应用于门把手、厨具和家电产品零部件,以及对抗菌性能有一定要求的器件和食品行业中的器皿等。
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公开(公告)号:CN1332799C
公开(公告)日:2007-08-22
申请号:CN200410017024.4
申请日:2004-03-18
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种用于紫外固化的透明隔热纳米多层膜,用于纳米光学薄膜材料技术领域。本发明采用DMD结构,电介质与金属层交替,两层电介质中间是金属层,金属为金属银,金属银层厚度为14~18nm,电介质材料为TiO2,层厚25~36nm。本发明既能保证优良的紫外透过率,同时把紫外固化炉的有害热量反射隔离,镀在透紫外石英玻璃上,置于紫外光源与待固化件之间用于紫外固化炉的隔热。可以作为水冷或风冷的补充,也可单独使用,以克服紫外固化过程中因温升而造成的固化质量问题,保证固化产品质量的稳定性。
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公开(公告)号:CN101016617A
公开(公告)日:2007-08-15
申请号:CN200710037887.1
申请日:2007-03-08
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种多通道线圈过滤器离子复合镀膜装置,属于镀膜和材料表面改性领域。本发明装置包括:多通道自由开放式线圈过滤器,过滤器定形以及绝缘装置、过滤器定位装置和工件罩,所述的多通道自由开放式线圈过滤器具有两个或多个引导通道以及一个混合通道,两个或多个引导通道呈对称分布,它们的入口正对两个或多个阴极电弧靶、出口正对混合通道的入口,混合通道的出口正对工件,工件位于工件罩内,过滤器定形以及绝缘装置卡在上述过滤器中线圈的相邻匝之间,过滤器定位装置将该过滤器固定在真空炉内。本发明还提供了应用上述装置进行离子复合镀膜的方法。本发明实施简单、所得膜层表面光洁、成分和结构可控,可应用于光学及高精度镀膜领域。
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公开(公告)号:CN1944703A
公开(公告)日:2007-04-11
申请号:CN200610117883.X
申请日:2006-11-02
Applicant: 上海交通大学
IPC: C23C14/32
Abstract: 一种自由开放式线圈过滤器,属于镀膜和材料表面改性技术领域。本发明包括:线圈、线圈固定以及绝缘装置、线圈支撑装置和工件罩,线圈使用紫铜软管绕制,线圈固定以及绝缘装置将线圈相邻匝固定住,线圈支撑装置从线圈的中部托住,保证线圈能稳定放置在真空炉内,工件罩位于线圈出口,线圈的相邻匝之间保持3mm到20mm的距离,线圈的供电使用直流电源或者脉冲电源,线圈相对于阳极具有+20V的电位,线圈使用直接水冷方式。本发明具有实施简单、使用灵活的优点,可广泛适用于电子、工具、装饰等表面精密制造和高质量镀膜领域。
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公开(公告)号:CN1648693A
公开(公告)日:2005-08-03
申请号:CN200410093090.X
申请日:2004-12-16
Applicant: 上海交通大学
IPC: G02B1/10
Abstract: 一种提高Ag基复合透明导电膜稳定性的方法,属于薄膜材料及薄膜光学领域。本发明在多层膜TiO2/Ag/TiO2三明治结构中,在金属层Ag层与底层电介质层TiO2层之间加镀Ti层,Ti层厚度范围2~3nm,加镀Ti层后的多层膜的光学性能与原始镀层非常接近,以Ti层作为改善Ag层与底层TiO2电介质层界面优化层,实现提高原始膜层的热稳定性的目的。本发明过渡层在提高原始膜层稳定性的同时,对其光电性能产生尽可能小的不良影响,克服Ag基复合透明导电多层膜,特别是以金属氧化物为电介质层的多层膜稳定性差的不足。
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公开(公告)号:CN1132964C
公开(公告)日:2003-12-31
申请号:CN01112715.5
申请日:2001-04-26
Applicant: 上海交通大学
CPC classification number: C23C28/021 , C23C28/026 , C23C28/028
Abstract: 一种耐腐蚀耐磨梯度膜及其制备方法,采用化学镀和电镀等技术对选用材料组合施镀,再使最表层非晶化或纳米化,制得由铜及铜镍合金基底镀层,Ni-P合金中间强化兼抗蚀镀层,表面Zn-Ni合金及非晶Ni-P合金等抗蚀镀层,最表层非晶或纳米化层组合而成的梯度膜结构。本发明充分考虑了材料物性参数匹配和电极电位的逐渐过渡,优化基底材料和镀层的配合,获得的梯度膜硬度高,结合力强,膜层内应力低,耐磨抗蚀性好,有较大的实用价值。
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公开(公告)号:CN1249366A
公开(公告)日:2000-04-05
申请号:CN99116932.8
申请日:1999-09-30
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种电刷镀钯镍合金及稀土钯镍合金材料,其钯镍合金镀液配方由一定浓度的PdCl2溶液、NiCl2溶液、NaNO2溶液和NH4NO3溶液等组分组成;含稀土元素钯镍合金的镀液则在配方中滴入稀土元素Ce或La添加剂;在镀层中加入镍可显著提高镀层的硬度和耐磨性,改善换向器表面性能;含稀土元素的钯镍合金镀层,质量有明显提高,镀层生长均匀、晶粒细小致密。
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