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公开(公告)号:CN115568277A
公开(公告)日:2023-01-03
申请号:CN202211345253.3
申请日:2022-10-31
Applicant: 上海交通大学
IPC: H10N70/00
Abstract: 本发明涉及一种二维过渡金属硫硒化物异质结忆阻器及其应用,该忆阻器由下至上依次为衬底、底电极层、阻变功能层和顶电极层,其中,所述阻变功能层为二维过渡金属硫硒化物异质结层。本发明将二维过渡金属硫硒化物异质结作为阻变功能层与衬底,底电极层和顶电极层组装成忆阻器,这种忆阻器具有快速开关过程、高密度集成、以及更低的能耗等优势,并且与传统硅基CMOS工艺兼容,适合大规模生产,有望运用在神经突触、图像识别、逻辑计算等领域。
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公开(公告)号:CN115537920B
公开(公告)日:2025-05-13
申请号:CN202211345215.8
申请日:2022-10-31
Applicant: 上海交通大学
IPC: C30B25/18 , C30B23/02 , C30B25/16 , C30B29/46 , C30B29/60 , C30B29/64 , C30B29/66 , C30B33/02 , H10F30/28 , H10F71/00 , H10F77/12 , H10F77/14
Abstract: 本发明涉及一种二维过渡金属硫族化合物及其制备和应用,利用硫族单质和过渡金属单质作为靶源,通过分子束外延技术,结合分步蒸发和后蒸发的策略,在衬底上进行气相沉积,从而得到高质量,大尺寸的二维过渡金属硫族化合物薄膜材料。与现有技术相比,本发明制备得到的薄膜形貌为少层平面结构、多层纳米棒结构或者多层纳米管结构,整个方法简单,高效,产物质量高,在高性能微纳器件、场效应晶体管、光电探测和集成电路等领域有着巨大的应用前景。
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公开(公告)号:CN115537920A
公开(公告)日:2022-12-30
申请号:CN202211345215.8
申请日:2022-10-31
Applicant: 上海交通大学
IPC: C30B25/18 , C30B23/02 , C30B25/16 , C30B29/46 , C30B29/60 , C30B29/64 , C30B29/66 , C30B33/02 , H01L31/032 , H01L31/0352 , H01L31/112 , H01L31/18
Abstract: 本发明涉及一种二维过渡金属硫族化合物及其制备和应用,利用硫族单质和过渡金属单质作为靶源,通过分子束外延技术,结合分步蒸发和后蒸发的策略,在衬底上进行气相沉积,从而得到高质量,大尺寸的二维过渡金属硫族化合物薄膜材料。与现有技术相比,本发明制备得到的薄膜形貌为少层平面结构、多层纳米棒结构或者多层纳米管结构,整个方法简单,高效,产物质量高,在高性能微纳器件、场效应晶体管、光电探测和集成电路等领域有着巨大的应用前景。
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