公开(公告)号：CN104112683A

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：CN201410313881.2

申请日：2014-07-03

申请人： 上海交通大学

发明人： 胡安民 ,  李明 ,  胡丰田 ,  王浩哲

IPC分类号： H01L21/603

CPC分类号： H01L2224/81 ,  H01L24/81 ,  H01L2224/81205 ,  H01L2224/81345

摘要： 本发明公开了一种基于铜微针锥同种结构的固态超声键合方法，其特征在于，包括步骤如下：选择具有相互匹配的电互连焊盘的两个或多个待键合元件，两两形成一待键合偶；在待键合偶的其中一侧的焊盘上形成铜微针锥；在待键合偶的另一侧的焊盘上形成相同形貌的铜微针锥；将待键合偶的一侧元件吸附在键合装置压头表面；将待键合偶的两侧的焊盘对准，使两侧的所述铜微针锥匹配接触，向待键合偶的一侧施加键合压力和超声振动并保持一定时间，使得两侧的所述铜微针锥互连键合。本发明的工艺过程简单，无需加热及助焊剂，可以避免对器件产生热损伤，提高产品可靠性；微针锥结构的使用缩短了超声键合的时间，提高了互连的有效性和键合密度。

公开(公告)号：CN102432326B

公开(公告)日：2013-07-17

申请号：CN201110247578.3

申请日：2011-08-25

申请人： 上海交通大学

发明人： 赵斌元 ,  罗斌晖 ,  陈宇翔 ,  王浩哲 ,  张伟勋 ,  高梦瑶 ,  陈科斌 ,  赖奕坚 ,  甘琦

IPC分类号： C04B38/00

摘要： 本发明涉及一种制备多孔碳-二氧化钛复合材料的方法，以生物质衍生碳质中间相和二氧化钛为起始原料，通过球磨处理使原料均匀分散，并进一步将其在真空碳化炉或气氛保护碳化炉中烧结成粉体多孔碳-二氧化钛复合材料；或者在起始原料中引入掺杂剂，通过模压成型、烧结制备出成型多孔碳-二氧化钛复合材料。通过调整碳中间相、二氧化钛、掺杂剂的成分配比，可以制备二氧化钛晶型可控的多孔碳-二氧化钛复合材料。该制备工艺简单，可以制备含有不同二氧化钛组成相的粉体和成型的多孔碳-二氧化钛复合材料，并且材料中锐钛矿型与金红石型二氧化钛的比例范围可控。

公开(公告)号：CN104112707A

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：CN201410313880.8

申请日：2014-07-03

申请人： 上海交通大学

发明人： 胡安民 ,  李明 ,  胡丰田 ,  王浩哲

IPC分类号： H01L21/768

CPC分类号： H01L24/81 ,  H01L2224/81205 ,  H01L2224/81345

摘要： 本发明公开了一种基于镍和铜微针锥异种结构的固态超声键合方法，包括步骤为：选择具有相互匹配的电互连焊盘的两个或多个待键合元件，两两形成一待键合偶；在待键合偶的其中一侧的焊盘上形成镍微针锥；在待键合偶的另一侧的焊盘上形成铜微针锥；将待键合偶的一侧元件吸附在键合装置压头表面；将所述待键合偶的两侧焊盘对准，使所述镍微针锥与所述铜微针锥匹配接触，向所述待键合偶一侧施加键合压力和超声振动并保持一定时间，使得所述镍微针锥与所述铜微针锥互连键合。本发明的工艺过程简单，无需加热及助焊剂，可避免热损伤，提高产品可靠性；微针锥结构缩短了超声键合的时间，提高了互连的有效性和键合密度。

公开(公告)号：CN104112682A

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：CN201410313879.5

申请日：2014-07-03

申请人： 上海交通大学

发明人： 胡安民 ,  李明 ,  胡丰田 ,  王浩哲

IPC分类号： H01L21/603

CPC分类号： H01L24/81 ,  H01L2224/13 ,  H01L2224/81205 ,  H01L2224/81345 ,  H01L2924/00012

摘要： 本发明公开了一种基于镍微针锥同种结构的固态超声键合方法，包括步骤如下：选择具有相互匹配的电互连焊盘的两个或多个待键合元件，两两形成一待键合偶；在待键合偶的其中一侧焊盘上形成镍微针锥；在待键合偶的另一侧焊盘上形成相同形貌的镍微针锥；将待键合偶一侧元件吸附在键合装置压头表面；将待键合偶两侧的焊盘对准，使两侧镍微针锥匹配接触，向待键偶一侧施加键合压力和超声振动并保持一定时间，使得两侧镍微针锥互连键合。本发明的工艺过程简单，无需加热及助焊剂，可以避免对器件产生热损伤，提高产品可靠性；微针锥结构的使用缩短了超声键合的时间，提高了互连的有效性和键合密度。

公开(公告)号：CN104112681A

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：CN201410313878.0

申请日：2014-07-03

申请人： 上海交通大学

发明人： 胡安民 ,  李明 ,  胡丰田 ,  王浩哲

IPC分类号： H01L21/603

CPC分类号： H01L24/81 ,  H01L2224/81205 ,  H01L2224/81345

摘要： 本发明公开了一种基于铜微针锥的固态超声键合方法，包括步骤为：选择具有相互匹配的电互连焊盘的两个或多个待键合元件，两两形成一待键合偶；在待键合偶的其中一侧的焊盘上形成凸点，所述凸点底部为第一金属，表面设有低硬度第二金属；在待键合偶的另一侧的焊盘上形成铜微针锥；将待键合偶的一侧元件吸附在键合装置压头表面；将待键合偶的两侧的焊盘对准，使所述凸点与所述铜微针锥匹配接触，向待键合偶的一侧施加键合压力和超声振动并保持一定时间，使得所述凸点与所述铜微针锥互连键合。本发明中铜微针锥与固态焊料有良好的机械咬合作用，增强了键合效果；超声振动能可以软化焊料，明显地防止键合过程空洞的发生，提高键合质量。

公开(公告)号：CN104112707B

公开(公告)日：2018-07-03

申请号：CN201410313880.8

申请日：2014-07-03

申请人： 上海交通大学

发明人： 胡安民 ,  李明 ,  胡丰田 ,  王浩哲

IPC分类号： H01L21/768

摘要： 本发明公开了一种基于镍和铜微针锥异种结构的固态超声键合方法，包括步骤为：选择具有相互匹配的电互连焊盘的两个或多个待键合元件，两两形成一待键合偶；在待键合偶的其中一侧的焊盘上形成镍微针锥；在待键合偶的另一侧的焊盘上形成铜微针锥；将待键合偶的一侧元件吸附在键合装置压头表面；将所述待键合偶的两侧焊盘对准，使所述镍微针锥与所述铜微针锥匹配接触，向所述待键合偶一侧施加键合压力和超声振动并保持一定时间，使得所述镍微针锥与所述铜微针锥互连键合。本发明的工艺过程简单，无需加热及助焊剂，可避免热损伤，提高产品可靠性；微针锥结构缩短了超声键合的时间，提高了互连的有效性和键合密度。

公开(公告)号：CN104112684A

公开(公告)日：2014-10-22

申请号：CN201410313882.7

申请日：2014-07-03

申请人： 上海交通大学

发明人： 胡安民 ,  李明 ,  胡丰田 ,  王浩哲

IPC分类号： H01L21/603

CPC分类号： H01L24/80 ,  H01L2021/60195

摘要： 本发明公开了一种基于镍微针锥的固态超声键合方法，包括步骤为：选择具有相互匹配的电互连焊盘的两个或多个待键合元件，两两形成一待键合偶；在待键合偶其中一侧的电互连焊盘上形成凸点，凸点底部为第一金属，表面设有低硬度第二金属；在待键合偶另一侧的电互连焊盘上形成镍微针锥；将待键合偶的一侧元件吸附在键合装置压头表面；将待键合偶两侧的电互连焊盘对准，使所述凸点与所述镍微针锥匹配接触，向待键合偶的一侧施加键合压力和超声振动并保持一定时间，使得所述凸点与所述镍微针锥互连键合。本发明中镍微针锥与固态焊料有良好的机械咬合作用，增强了键合效果；超声振动能可以软化焊料，明显地防止键合过程空洞的发生，提高键合质量。

公开(公告)号：CN102432326A

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：CN201110247578.3

申请日：2011-08-25

申请人： 上海交通大学

发明人： 赵斌元 ,  罗斌晖 ,  陈宇翔 ,  王浩哲 ,  张伟勋 ,  高梦瑶 ,  陈科斌 ,  赖奕坚 ,  甘琦

IPC分类号： C04B38/00

摘要： 本发明涉及一种制备多孔碳-二氧化钛复合材料的方法，以生物质衍生碳质中间相和二氧化钛为起始原料，通过球磨处理使原料均匀分散，并进一步将其在真空碳化炉或气氛保护碳化炉中烧结成粉体多孔碳-二氧化钛复合材料；或者在起始原料中引入掺杂剂，通过模压成型、烧结制备出成型多孔碳-二氧化钛复合材料。通过调整碳中间相、二氧化钛、掺杂剂的成分配比，可以制备二氧化钛晶型可控的多孔碳-二氧化钛复合材料。该制备工艺简单，可以制备含有不同二氧化钛组成相的粉体和成型的多孔碳-二氧化钛复合材料，并且材料中锐钛矿型与金红石型二氧化钛的比例范围可控。