公开(公告)号：CN117783245A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202311777758.1

申请日：2023-12-21

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 郭小军 ,  邓立昂 ,  唐伟 ,  宋亚文 ,  尹晓宽 ,  李骏 ,  施蓉蓉 ,  侯霄

IPC: G01N27/414 ,  H01L27/12 ,  H01L21/77 ,  G01N33/543

Abstract: 本发明涉及用于生化检测的薄膜晶体管生物芯片及其形成方法。所述用于生化检测的薄膜晶体管生物芯片包括：衬底；信号处理结构，沿第一方向位于所述衬底的顶面上，所述信号处理结构包括薄膜晶体管电路，所述第一方向垂直于所述衬底的顶面；前端传感器，沿所述第一方向集成于所述信号处理结构上方，且所述前端传感器与所述薄膜晶体管电路电连接；封装层，覆盖所述信号处理结构的表面，且所述封装层中具有开口，所述前端传感器位于所述开口内。本发明实现了高灵敏度的传感性能，克服了传统的薄膜晶体管系统不能直接与待测溶液接触来进行生化检测的问题。

公开(公告)号：CN115096965B

公开(公告)日：2023-09-08

申请号：CN202210606517.X

申请日：2022-05-31

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 郭小军 ,  欧阳邦 ,  陈苏杰 ,  宋亚文 ,  沈超超 ,  尹晓宽 ,  唐伟

IPC: G01N27/30 ,  H01L27/12 ,  H01L21/77

Abstract: 本发明提供的薄膜晶体管型生化传感微阵列芯片包括：衬底；像素阵列，包括多个参比电极和多个像素单元，所述像素单元包括薄膜晶体管和位于所述薄膜晶体管上方的敏感电极，所述薄膜晶体管的底栅电极电连接所述敏感电极，所述敏感电极表面具有修饰层，多个所述参比电极与多行所述像素单元一一对应；多条行选信号线，分别与多个所述参比电极电连接；多条列读取信号线；多条公共电极线；多个隔离墙，位于所述封装层上方，每个所述隔离墙包围一隔离区域，所述隔离区域连续暴露一行所述像素单元中所有的所述敏感电极和一个所述参比电极。本发明有利于提高芯片集成度，并减少串扰和功耗。

公开(公告)号：CN115096965A

公开(公告)日：2022-09-23

申请号：CN202210606517.X

申请日：2022-05-31

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 郭小军 ,  欧阳邦 ,  陈苏杰 ,  宋亚文 ,  沈超超 ,  尹晓宽 ,  唐伟

IPC: G01N27/30 ,  H01L27/12 ,  H01L21/77

Abstract: 本发明提供的薄膜晶体管型生化传感微阵列芯片包括：衬底；像素阵列，包括多个参比电极和多个像素单元，所述像素单元包括薄膜晶体管和位于所述薄膜晶体管上方的敏感电极，所述薄膜晶体管的底栅电极电连接所述敏感电极，所述敏感电极表面具有修饰层，多个所述参比电极与多行所述像素单元一一对应；多条行选信号线，分别与多个所述参比电极电连接；多条列读取信号线；多条公共电极线；多个隔离墙，位于所述封装层上方，每个所述隔离墙包围一隔离区域，所述隔离区域连续暴露一行所述像素单元中所有的所述敏感电极和一个所述参比电极。本发明有利于提高芯片集成度，并减少串扰和功耗。