多晶硅的制造方法、多晶硅的制造装置、和多晶硅

    公开(公告)号:CN101956232B

    公开(公告)日:2015-01-28

    申请号:CN201010229761.6

    申请日:2010-07-13

    Abstract: 本发明涉及多晶硅的制造方法,其中,对反应炉内的硅芯棒进行通电而使硅芯棒发热,通过对硅芯棒供给包含氯硅烷类的原料气体,从而在硅芯棒的表面使多晶硅析出,作为棒而生长。该多晶硅的制造方法具有:前半部分工序,在以高压大量地供给原料气体的条件下,通过调整向硅芯棒的电流而将表面温度维持在规定范围中,并且在棒的中心温度达到多晶硅的熔点以下的规定温度之前,一边将每单位表面积的原料气体供给量维持规定范围内,一边供给原料气体;以及后半部分工序,通过设定为与棒直径对应地预先决定的电流值,并且使每单位表面积的氯硅烷类供给量降低,从而将棒的表面温度和中心温度维持在规定温度。

    绝缘铜线及电线圈
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113574615B

    公开(公告)日:2023-07-25

    申请号:CN202080021132.6

    申请日:2020-02-17

    Abstract: 本发明的绝缘铜线(10)具有铜线及包覆所述铜线的表面的绝缘覆膜(12),所述绝缘覆膜(12)包含具有酰胺键的高分子材料,在通过剥离所述绝缘覆膜(12)而形成于所述绝缘铜线的表面的剥离面(14)中,与氮原子或碳原子键合的铜原子比与氧原子键合的铜原子多,并且从剥离面(14)沿深度方向形成有含有10原子%以上的氧的含氧层(13),所述含氧层(13)的膜厚在2nm以上且30nm以下的范围内。电线圈通过卷绕上述绝缘铜线(10)而形成。

    绝缘铜线及电线圈
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113574615A

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN202080021132.6

    申请日:2020-02-17

    Abstract: 本发明的绝缘铜线(10)具有铜线及包覆所述铜线的表面的绝缘覆膜(12),所述绝缘覆膜(12)包含具有酰胺键的高分子材料,在通过剥离所述绝缘覆膜(12)而形成于所述绝缘铜线的表面的剥离面(14)中,与氮原子或碳原子键合的铜原子比与氧原子键合的铜原子多,并且从剥离面(14)沿深度方向形成有含有10原子%以上的氧的含氧层(13),所述含氧层(13)的膜厚在2nm以上且30nm以下的范围内。电线圈通过卷绕上述绝缘铜线(10)而形成。

    多晶硅的制造方法、多晶硅的制造装置、和多晶硅

    公开(公告)号:CN101956232A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN201010229761.6

    申请日:2010-07-13

    Abstract: 本发明涉及多晶硅的制造方法,其中,对反应炉内的硅芯棒进行通电而使硅芯棒发热,通过对硅芯棒供给包含氯硅烷类的原料气体,从而在硅芯棒的表面使多晶硅析出,作为棒而生长。该多晶硅的制造方法具有:前半部分工序,在以高压大量地供给原料气体的条件下,通过调整向硅芯棒的电流而将表面温度维持在规定范围中,并且在棒的中心温度达到多晶硅的熔点以下的规定温度之前,一边将每单位表面积的原料气体供给量维持规定范围内,一边供给原料气体;以及后半部分工序,通过设定为与棒直径对应地预先决定的电流值,并且使每单位表面积的氯硅烷类供给量降低,从而将棒的表面温度和中心温度维持在规定温度。

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