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公开(公告)号：CN1145540C
公开(公告)日：2004-04-14
申请号：CN99816413.5
申请日：1999-03-05
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/06
CPC classification number: G05B19/4103 , B23K26/08 , B23K26/389 , G05B2219/34391 , G05B2219/35304 , G05B2219/45165 , G05B2219/49384
Abstract: 本发明的激光加工装置具备：产生激光的激光振荡器(3)；具有形成将从所述激光振荡器(3)输出的所述激光(2)导向被加工物(1)的光路的电流计式反射镜(5a、5b)与fθ透镜(7)的光路系统；设置在所述激光振荡器与所述电流计式反射镜之间光路中的衍射型光学元件(11)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1299465A
公开(公告)日：2001-06-13
申请号：CN98814134.5
申请日：1998-08-10
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G01R31/309 , G01N21/88 , G01N21/8901 , G01N21/956
Abstract: 一种印刷电路基板的检查装置,设有转动轴互相垂直的2个检流镜及扫描透镜作为扫描装置,能将激光振荡器输出激光的照射位置定位在互相垂直的X轴方向及Y轴方向指令的任意坐标位置处,用检测器检测激光照射印刷电路基板所产生的光,依据检测器的输出信号判断各坐标位置检查结果是否良好。
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公开(公告)号：CN1129788C
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：CN98814134.5
申请日：1998-08-10
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: G01R31/309 , G01N21/88 , G01N21/8901 , G01N21/956
Abstract: 一种印刷电路基板的检查装置，设有转动轴互相垂直的2个检流镜及扫描透镜作为扫描装置，能将激光振荡器输出激光的照射位置定位在互相垂直的X轴方向及Y轴方向指令的任意座标位置处，用检测器检测激光照射印刷电路基板所产生的光，依据检测器的输出信号判断各座标位置检查结果是否良好。
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公开(公告)号：CN1098022C
公开(公告)日：2003-01-01
申请号：CN96111476.2
申请日：1996-08-07
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H05K3/0032 , H05K2203/0554 , H05K2203/081
Abstract: 本发明揭示电路底板激光加工方法和装置。该方法将激光束以约10微秒-20微秒的照射时间，约20焦耳/厘米2以上的能量密度，对电流底板的被加工部进行脉冲照射，在该电路板上完成开通孔和盲辅助孔之类的钻削、槽缝加工和外形切割。可解决含玻璃纤维布电路底板激光加工中出现玻璃纤维布伸出、加工孔粗糙和因加热时间长而孔壁有碳化层等问题。
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公开(公告)号：CN1337896A
公开(公告)日：2002-02-27
申请号：CN99816413.5
申请日：1999-03-05
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/06
CPC classification number: G05B19/4103 , B23K26/08 , B23K26/389 , G05B2219/34391 , G05B2219/35304 , G05B2219/45165 , G05B2219/49384
Abstract: 本发明的激光加工装置具备:产生激光的激光振荡器(3);具有形成将从所述激光振荡器(3)输出的所述激光(2)导向被加工物(1)的光路的电流计式反射镜(5a、5b)与fθ透镜(7)的光路系统;设置在所述激光振荡器与所述电流计式反射镜之间光路中的衍射型光学元件(11)。
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公开(公告)号：CN1142743A
公开(公告)日：1997-02-12
申请号：CN96111476.2
申请日：1996-08-07
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H05K3/0032 , H05K2203/0554 , H05K2203/081
Abstract: 本发明揭示电路底板激光加工方法和装置。该方法将激光束以约10微秒—20微秒的照射时间，约20焦耳/厘米2以上的能量密度，对电流底板的被加工部进行脉冲照射，在该电路板上完成开通孔和盲辅助孔之类的钻削、槽缝加工和外形切割。可解决含玻璃纤维布电路底板激光加工中出现玻璃纤维布伸出、加工孔粗糙和因加热时间长而孔壁有碳化层等问题。
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