公开(公告)号：CN1145540C

公开(公告)日：2004-04-14

申请号：CN99816413.5

申请日：1999-03-05

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 大川龙生 ,  祝靖彦 ,  黑泽满树 ,  水野正纪

IPC: B23K26/06

CPC classification number: G05B19/4103 ,  B23K26/08 ,  B23K26/389 ,  G05B2219/34391 ,  G05B2219/35304 ,  G05B2219/45165 ,  G05B2219/49384

Abstract: 本发明的激光加工装置具备：产生激光的激光振荡器(3)；具有形成将从所述激光振荡器(3)输出的所述激光(2)导向被加工物(1)的光路的电流计式反射镜(5a、5b)与fθ透镜(7)的光路系统；设置在所述激光振荡器与所述电流计式反射镜之间光路中的衍射型光学元件(11)。

公开(公告)号：CN1337896A

公开(公告)日：2002-02-27

申请号：CN99816413.5

申请日：1999-03-05

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 大川龙生 ,  祝靖彦 ,  黑泽满树 ,  水野正纪

IPC: B23K26/06

CPC classification number: G05B19/4103 ,  B23K26/08 ,  B23K26/389 ,  G05B2219/34391 ,  G05B2219/35304 ,  G05B2219/45165 ,  G05B2219/49384

Abstract: 本发明的激光加工装置具备:产生激光的激光振荡器(3);具有形成将从所述激光振荡器(3)输出的所述激光(2)导向被加工物(1)的光路的电流计式反射镜(5a、5b)与fθ透镜(7)的光路系统;设置在所述激光振荡器与所述电流计式反射镜之间光路中的衍射型光学元件(11)。