激光振荡器内出射镜的老化状态测定方法以及激光加工装置

    公开(公告)号:CN101878087B

    公开(公告)日:2015-05-13

    申请号:CN200780101632.5

    申请日:2007-11-20

    CPC classification number: H01S3/0014 G01J1/4257

    Abstract: 一种利用从激光振荡器(1)射出的激光束(4)进行加工的激光加工装置,其具有:孔径部(5),其配置在从激光振荡器(1)射出的激光束(4)的光路上,用于遮挡该激光束(4)的周边部分,使中央部分透过;以及波束功率测定传感器(6),其测定透过该孔径部(5)的激光束(20)的波束功率,在该激光加工装置中,利用在通过高波束功率的激光束使激光振荡器(1)的出射镜成为高热负荷状态的情况下,透过孔径部(5)的激光束的波束功率根据出射镜(2)的老化状态而显著地变化(越老化,波束功率越上升)这一情况,判断出射镜(2)的老化状态。

    激光加工方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103081579A

    公开(公告)日:2013-05-01

    申请号:CN201080068824.2

    申请日:2010-08-31

    CPC classification number: H05K3/0035 H05K3/0038

    Abstract: 一种激光加工方法,其利用脉冲激光对在第1导体层和第2导体层之间夹持有绝缘层的被加工物进行开孔加工,在该激光加工方法中具有下述工序,即:第1工序,在该工序中,向所述第1导体层的同一部位照射多次脉冲激光,而形成贯穿所述第1导体层的第1孔;以及第2工序,在该工序中,在所述绝缘层中的通过所述第1孔露出的部位处,照射多次脉冲激光,与所述第1孔相对应而形成贯穿所述绝缘层的第2孔,在所述第1工序中,将以大于或等于3kHz而小于或等于15kHz的振荡频率产生的脉冲激光向所述同一部位照射多次。

    激光加工方法
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103081579B

    公开(公告)日:2016-02-10

    申请号:CN201080068824.2

    申请日:2010-08-31

    CPC classification number: H05K3/0035 H05K3/0038

    Abstract: 一种激光加工方法,其利用脉冲激光对在第1导体层和第2导体层之间夹持有绝缘层的被加工物进行开孔加工,在该激光加工方法中具有下述工序,即:第1工序,在该工序中,向所述第1导体层的同一部位照射多次脉冲激光,而形成贯穿所述第1导体层的第1孔;以及第2工序,在该工序中,在所述绝缘层中的通过所述第1孔露出的部位处,照射多次脉冲激光,与所述第1孔相对应而形成贯穿所述绝缘层的第2孔,在所述第1工序中,将以大于或等于3kHz而小于或等于15kHz的振荡频率产生的脉冲激光向所述同一部位照射多次。

    激光振荡器内出射镜的老化状态测定方法以及激光加工装置

    公开(公告)号:CN101878087A

    公开(公告)日:2010-11-03

    申请号:CN200780101632.5

    申请日:2007-11-20

    CPC classification number: H01S3/0014 G01J1/4257

    Abstract: 一种利用从激光振荡器(1)射出的激光束(4)进行加工的激光加工装置,其具有:孔径部(5),其配置在从激光振荡器(1)射出的激光束(4)的光路上,用于遮挡该激光束(4)的周边部分,使中央部分透过;以及波束功率测定传感器(6),其测定透过该孔径部(5)的激光束(20)的波束功率,在该激光加工装置中,利用在通过高波束功率的激光束使激光振荡器(1)的出射镜成为高热负荷状态的情况下,透过孔径部(5)的激光束的波束功率根据出射镜(2)的老化状态而显著地变化(越老化,波束功率越上升)这一情况,判断出射镜(2)的老化状态。

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