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公开(公告)号：CN101395534B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN200780007279.4
申请日：2007-05-25
Applicant: 三菱化学株式会社
Inventor： 龟山泰弘
CPC classification number: G03F7/027 , G03F7/0007
Abstract: 本发明提供一种保护膜用热固性组合物，其即使在曝光光源的分光特性不同的情况下，灵敏度也不明显降低，能够形成具有高灵敏度的保护层，硬烘时无着色，在可见光区域下的光透过率良好，该保护膜用热固性组合物含有(A)碱溶性树脂、(B)具有两个以上烯键式不饱和基团的化合物以及(C)光聚合引发剂。该保护膜用热固性组合物在400nm波长下的光透过率为每1μm膜厚90％以上。组分(C)在310～370nm具有最大吸收波长。
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公开(公告)号：CN101390017B
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN200780006786.6
申请日：2007-05-25
Applicant: 三菱化学株式会社
Inventor： 龟山泰弘
CPC classification number: G03F7/027 , G03F7/0007 , G03F7/033
Abstract: 本发明提供一种保护膜用热固性组合物，其能够形成在曝光和显影后的剥离性优异、硬烘时无着色、在可见光区域下的透光率良好、热固化后的耐化学性优异的保护层。该保护膜用热固性组合物含有(A)碱溶性树脂、(B)具有2个以上烯键式不饱和基团的化合物以及(C)光聚合引发剂。烯键式不饱和基团相对于组分(A)和组分(B)的总重量的含量为1毫摩尔/g～5毫摩尔/g。使用该保护膜用热固性组合物以最佳曝光量曝光并固化所形成的曝光膜在0.4重量％氢氧化四甲基铵水溶液(25℃)中的溶解速度为2.3μm/分钟以下。
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公开(公告)号：CN1922142A
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：CN200580005604.4
申请日：2005-02-22
Applicant: 三菱化学株式会社
IPC: C07D209/86 , G03F7/031 , G02B5/20
CPC classification number: C07D209/94 , C07D209/86 , G03F7/0007 , G03F7/031
Abstract: 本发明提供具有特定结构的肟酯化合物、光聚合性组合物和使用该光聚合性组合物的滤色器。在包含黑色着色材料(a)、有机粘合剂(b)和光聚合引发剂(c)的光聚合性组合物中，该肟酯化合物构成(c)。该肟酯化合物可以用作高感光性光聚合引发剂。薄膜形式的含有该肟酯化合物的光聚合性组合物具有优异的感光度和分辨率，且具有高的遮光性，可以低成本地形成高质量的树脂黑底(BM)。使用该树脂BM的滤色器具有优异的精度、平坦性和耐久性，这样可以改进液晶显示装置的显示质量。其生产过程和滤色器本身没有害物质，这样可以降低对人体的危险，并提高环境安全性。它还适用于不使用着色材料的用途，例如光间隔器或肋壁(液晶分割取向突起)。
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公开(公告)号：CN1675588A
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN03818746.9
申请日：2003-08-05
Applicant: 三菱化学株式会社
CPC classification number: G03F7/033 , G03F7/0045 , G03F7/031
Abstract: 本发明提供一种成像材料及其抗蚀剂成像法，该成像材料具有对紫光区激光束高度敏感的紫激光感光性抗蚀剂材料层，同时，即使当抗蚀剂材料层的膜较厚时，其感光性也不会下降。本发明提供一种具有紫激光感光性抗蚀剂材料层的成像材料，该成像材料包括被加工基板和形成于所述基板上的紫激光感光性抗蚀剂材料层，其中所述感光性抗蚀剂材料层的膜厚至少为10μm，并且在405nm的波长处具有每1μm膜厚至多为0.3的吸光度，本发明还提供一种抗蚀剂成像法，其中用波长为320nm至450nm的激光束对所述成像材料的感光性抗蚀剂材料层进行扫描曝光，随后进行显影处理。
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公开(公告)号：CN104246609A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380021084.0
申请日：2013-04-25
Applicant: 三菱化学株式会社
Inventor： 龟山泰弘
IPC: G03F7/004 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/02118 , C08G18/672 , C08G18/791 , G03F7/0047 , G03F7/027 , H01L27/3258
Abstract: 本发明的课题在于提供一种可兼备介电常数和高分辨力、并且具有高透射率及高灵敏度的感光性树脂组合物，所述介电常数和高分辨力存在折衷选择的关系。另外，本发明的课题还在于提供一种使用上述感光性树脂组合物而形成的固化物、含有该固化物的层间绝缘膜、含有该层间绝缘膜的TFT有源阵列基板及液晶显示装置。本发明涉及的感光性树脂组合物含有：(A)钛酸钡微粒、(B)氧化锆微粒、及(C)含有可溶于碱的树脂。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102591150A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110419452.X
申请日：2007-05-25
Applicant: 三菱化学株式会社
Inventor： 龟山泰弘
IPC: G03F7/027 , G03F7/004 , G03F7/00 , G02F1/1333
CPC classification number: G03F7/027 , G03F7/0007
Abstract: 本发明提供一种保护膜用热固性组合物、固化物以及液晶显示装置，所述保护膜用热固性组合物即使在曝光光源的分光特性不同的情况下，灵敏度也不明显降低，能够形成具有高灵敏度的保护层，硬烘时无着色，在可见光区域下的光透过率良好，该保护膜用热固性组合物含有(A)碱溶性树脂、(B)具有两个以上烯键式不饱和基团的化合物以及(C)光聚合引发剂。该保护膜用热固性组合物在400nm波长下的光透过率为每1μm膜厚90％以上。组分(C)在310～370nm具有最大吸收波长，并且，相对于100重量份的所述(A)组分和所述(B)组分的总量，所述(C)组分的混合量为0.3～7重量份。
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公开(公告)号：CN102015633A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200980114528.9
申请日：2009-04-23
Applicant: 三菱化学株式会社
IPC: C07C323/63 , C07D209/86 , C07D295/14 , G02B5/20 , G03F7/031
CPC classification number: C07C323/47 , C07C323/63 , C07D209/86 , G03F7/0007 , G03F7/0045 , G03F7/031
Abstract: 本发明提供一种可用作新型且高灵敏度的光聚合引发剂的酮肟酯类化合物、以及提供一种在高灵敏度且高透射率的层间绝缘膜用途及滤色片用途等中有用的光聚合性组合物。为此，本发明涉及具有特定结构的酮肟酯类化合物及包含该酮肟酯类化合物的光聚合性组合物。
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公开(公告)号：CN101135850B
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200710182370.1
申请日：2003-08-05
Applicant: 三菱化学株式会社 , 日本合成化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/033 , G03F7/0045 , G03F7/031
Abstract: 本发明提供一种成像材料及其抗蚀剂成像法，该成像材料具有对青紫光区激光束高度敏感的青紫激光感光性抗蚀剂材料层，同时，即使当抗蚀剂材料层的膜较厚时，其感光性也不会下降。本发明提供一种具有青紫激光感光性抗蚀剂材料层的成像材料，该成像材料包括被加工基板和形成于所述基板上的青紫激光感光性抗蚀剂材料层，其中所述感光性抗蚀剂材料层的膜厚至少为10μm，并且在405nm的波长处具有每1μm膜厚至多为0.3的吸光度，本发明还提供一种抗蚀剂成像法，其中用波长为320nm至450nm的激光束对所述成像材料的感光性抗蚀剂材料层进行扫描曝光，随后进行显影处理。
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公开(公告)号：CN101805282A
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN201010159942.6
申请日：2005-02-22
Applicant: 三菱化学株式会社
IPC: C07D209/86 , G03F7/032 , G02B5/20 , G02F1/1335
CPC classification number: C07D209/94 , C07D209/86 , G03F7/0007 , G03F7/031
Abstract: 本发明提供具有特定结构的肟酯化合物、光聚合性组合物和使用该光聚合性组合物的滤色器。在包含黑色着色材料(a)、有机粘合剂(b)和光聚合引发剂(c)的光聚合性组合物中，该肟酯化合物构成(c)。该肟酯化合物可以用作高感光性光聚合引发剂。薄膜形式的含有该肟酯化合物的光聚合性组合物具有优异的感光度和分辨率，且具有高的遮光性，可以低成本地形成高质量的树脂黑底(BM)。使用该树脂BM的滤色器具有优异的精度、平坦性和耐久性，这样可以改进液晶显示装置的显示质量。其生产过程和滤色器本身没有害物质，这样可以降低对人体的危险，并提高环境安全性。它还适用于不使用着色材料的用途，例如光间隔器或肋壁(液晶分割取向突起)。
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公开(公告)号：CN101395535B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN200780007212.0
申请日：2007-05-25
Applicant: 三菱化学株式会社
Inventor： 龟山泰弘
CPC classification number: G03F7/0007 , G03F7/027 , G03F7/033
Abstract: 本发明提供一种保护膜用热固性组合物，其能够形成粘性得以降低的涂布干燥膜(保护膜)，硬烘时无着色，在可见光区域下的光透过率良好，该保护膜用热固性组合物含有(A)碱溶性树脂、(B)具有烯键式不饱和基团的化合物以及(C)光聚合引发剂。组分(A)的酸值为80mg-KOH/g以上。将组分(A)以1μm的膜厚成膜而得到的树脂膜在0.4重量％氢氧化四甲基铵水溶液(25℃)中的断点为10秒以上。
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