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公开(公告)号：CN102148234A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN201010599753.0
申请日：2010-12-14
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/50 , H01L51/56
Abstract: 本公开提供一种薄膜沉积装置及制造有机发光显示设备的方法。所述薄膜沉积装置可以去除基板与掩膜之间产生的静电，并且所述方法用于利用该薄膜沉积装置制造有机发光显示设备。
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公开(公告)号：CN101880865A
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN201010170313.3
申请日：2010-05-04
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/12 , B05D1/02 , B05D1/60 , B05D3/0493 , C23C14/243 , C23C14/56 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: 一种用于沉积有机材料的装置及其沉积方法和沉积系统，其中在室中对第一基板执行对准过程的同时对第二基板执行沉积过程，使得在传送和对准过程中浪费的有机材料可以减少，从而最大化材料效率并最小化处理节拍时间。该装置包括：室，其内部被划分成第一基板沉积区域和第二基板沉积区域；有机材料沉积源，被传送到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的区域内，以将有机材料的颗粒喷射到所述第一基板和所述第二基板中的相应基板上；以及第一传送单元，用于使所述有机材料沉积源沿第一方向从所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的一个区域旋转到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的另一个区域。
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公开(公告)号：CN101168834B
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200710126812.0
申请日：2007-06-27
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Inventor： 金兑承
CPC classification number: H01L51/0011 , C23C14/042 , H01L51/56
Abstract: 本发明公开了一种掩模和采用该掩模的沉积装置。掩模的一个实施例用于在具有多个子像素区的基底上沉积薄膜。该掩模包括具有多个第一开口的第一区域，每个第一开口与多个子像素区中的一个对应。该掩模还包括具有多个第二开口的第二区域，每个第二开口与多个子像素区中的至少两个对应。第二区域位于第一区域的两侧。
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公开(公告)号：CN100587996C
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN03142457.0
申请日：2003-06-02
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/50
Abstract: 一种用于固定薄膜溅射用衬底的装置，包括掩膜、掩膜压板、磁体和驱动单元。具有图案的掩膜位于衬底下方，以便在衬底上形成图案。掩膜压板位于衬底之上并以预定的压力朝向衬底背面运动并与之接触。磁体位于掩膜压板的上方并朝向掩膜压板运动，从而可通过磁体的磁力而使掩膜紧密地粘附在衬底上。驱动单元施加驱动力以移动磁体。当掩膜压板下降时，掩膜压板紧密地粘附在衬底上。之后，磁体朝向衬底背面下降，衬底由掩膜压板支撑。衬底下方的掩膜通过磁体的磁力而紧密地粘附在衬底的正面上。因此，由于衬底被多级式地支撑，掩膜在衬底下方的对齐不会发生错位。
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公开(公告)号：CN100464440C
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：CN03147213.3
申请日：2003-06-03
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , H01L51/56
Abstract: 提供了一种用于有机电致发光装置的薄层真空蒸发的掩模框组件，所述掩模框组件能减小因掩模图案尺寸增大所致的蒸发图案中的扭曲，便于蒸发图案的总间距的调节，和防止在不理想的位置发生蒸发。掩模框组件包括具有开口的框和由至少两个单位掩模元件组成的掩模。每个单位掩模元件的两端都固定到框上。单位掩模元件包括单位掩模图案，并在预定的宽度上彼此重叠，形成单个的掩模图案块。每个单位掩模元件在重叠部分中有凹陷的壁，从而使掩模的厚度在单位掩模元件之间的重叠处保持恒定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101880865B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010170313.3
申请日：2010-05-04
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/12 , B05D1/02 , B05D1/60 , B05D3/0493 , C23C14/243 , C23C14/56 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: 一种用于沉积有机材料的装置及其沉积方法和沉积系统，其中在室中对第一基板执行对准过程的同时对第二基板执行沉积过程，使得在传送和对准过程中浪费的有机材料可以减少，从而最大化材料效率并最小化处理节拍时间。该装置包括：室，其内部被划分成第一基板沉积区域和第二基板沉积区域；有机材料沉积源，被传送到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的区域内，以将有机材料的颗粒喷射到所述第一基板和所述第二基板中的相应基板上；以及第一传送单元，用于使所述有机材料沉积源沿第一方向从所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的一个区域旋转到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的另一个区域。
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公开(公告)号：CN101179032B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN200710180978.0
申请日：2007-10-10
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: B32B38/0008 , H01J9/261 , H01J17/18 , H01J2209/26 , H01L27/3244 , H01L51/5246
Abstract: 本发明公开了一种包括用于局部照射光的掩模的密封装置和利用该密封装置制造显示装置的方法。该密封装置用于通过将密封材料设置在第一基底和第二基底的边缘并且通过对密封材料照射光来结合第一基底和第二基底，该密封装置包括：掩模，设置在台的一侧上，在掩模中，与密封材料的形成位置对应地形成透射部分，从而光可以照射到密封材料；光头，通过掩模的透射部分对密封材料照射光。在掩模的透射部分中形成用于调节对密封材料照射的光的量的图案。
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公开(公告)号：CN100477321C
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN03158030.0
申请日：2003-07-23
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L25/048 , H01L27/3286 , H01L51/525 , H01L51/5253 , H01L51/5259 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种双型有机电致发光器件及其制造方法。双型有机电致发光器件包括：主有机电致发光显示板，它具有主基板和形成在主基板上的主有机电致发光部分；副有机电致发光显示板，它具有副基板和形成在副基板上的副有机电致发光部分；和用于密封主基板和副基板的密封部件，其中主有机电致发光部分和副有机电致发光部分彼此面对地严密密封。
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公开(公告)号：CN1414819B
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN02129822.X
申请日：2002-08-15
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L51/5237 , H01L27/3281 , H01L51/524
Abstract: 一种有机电致发光装置及其制造方法。所述有机电致发光装置包括：一个透明衬底，一个第一电极层，它包括一系列在衬底的顶面上以预定图案形成并连接到衬底的相对边缘的第一电极垫部分的第一电极线；在第一电极线上作为预定图案形成的一个有机层；包括一系列在其上形成有第一电极线和有机层的衬底上形成的第二电极线的一个第二电极层，作为要从第一电极线绝缘的和连接到衬底的其他两个边缘的第二电极垫部分的预定图案；一个使用密封剂粘接到衬底上的盖，用以密封它的内部密封空间内的有机层；和一个阻挡部分，它阻挡密封剂在衬底上向密封空间内或外流动。
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公开(公告)号：CN1953199B
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200610140236.0
申请日：2006-10-20
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L51/524 , H01L2251/566
Abstract: 本发明提供了一种有机发光显示装置，该装置包括：第一基底；有机发光像素的阵列，形成在基底上；第二基底，与第一基底相对。第一密封件将第一基底和第二基底相互连接，并包围有机发光像素的阵列。膜结构置于第二基底和有机发光像素的阵列之间，并与第二基底和阵列接触。
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