公开(公告)号：CN101880865B

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201010170313.3

申请日：2010-05-04

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 朴宰完 ,  车裕敏 ,  赵源锡 ,  朴在穆 ,  安宰弘 ,  黄珉婷 ,  金兑昱 ,  李钟禹 ,  金兑承

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/04

CPC classification number: C23C14/12 ,  B05D1/02 ,  B05D1/60 ,  B05D3/0493 ,  C23C14/243 ,  C23C14/56 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/56

Abstract: 一种用于沉积有机材料的装置及其沉积方法和沉积系统，其中在室中对第一基板执行对准过程的同时对第二基板执行沉积过程，使得在传送和对准过程中浪费的有机材料可以减少，从而最大化材料效率并最小化处理节拍时间。该装置包括：室，其内部被划分成第一基板沉积区域和第二基板沉积区域；有机材料沉积源，被传送到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的区域内，以将有机材料的颗粒喷射到所述第一基板和所述第二基板中的相应基板上；以及第一传送单元，用于使所述有机材料沉积源沿第一方向从所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的一个区域旋转到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的另一个区域。

公开(公告)号：CN101880865A

公开(公告)日：2010-11-10

申请号：CN201010170313.3

申请日：2010-05-04

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 朴宰完 ,  车裕敏 ,  赵源锡 ,  朴在穆 ,  安宰弘 ,  黄珉婷 ,  金兑昱 ,  李钟禹 ,  金兑承

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/04

CPC classification number: C23C14/12 ,  B05D1/02 ,  B05D1/60 ,  B05D3/0493 ,  C23C14/243 ,  C23C14/56 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/56

Abstract: 一种用于沉积有机材料的装置及其沉积方法和沉积系统，其中在室中对第一基板执行对准过程的同时对第二基板执行沉积过程，使得在传送和对准过程中浪费的有机材料可以减少，从而最大化材料效率并最小化处理节拍时间。该装置包括：室，其内部被划分成第一基板沉积区域和第二基板沉积区域；有机材料沉积源，被传送到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的区域内，以将有机材料的颗粒喷射到所述第一基板和所述第二基板中的相应基板上；以及第一传送单元，用于使所述有机材料沉积源沿第一方向从所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的一个区域旋转到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的另一个区域。