声波装置及制造声波装置的方法

    公开(公告)号:CN108933577B

    公开(公告)日:2021-11-30

    申请号:CN201711426177.8

    申请日:2017-12-26

    Abstract: 本发明提供一种声波装置及制造声波装置的方法。所述声波装置包括:声波产生器,形成在基板的一个表面上;支撑构件,设置在所述基板的所述一个表面上,并与所述声波产生器分开;保护构件,结合到所述支撑构件并设置为与所述声波产生器分开;以及密封部,包封所述保护构件和所述支撑构件,其中,所述密封部包括一个或更多个第一气密层和一个或更多个第二气密层,并且所述第一气密层和所述第二气密层交替地堆叠。

    声波谐振器及制造声波谐振器的方法

    公开(公告)号:CN108282157B

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN201711372832.6

    申请日:2017-12-19

    Abstract: 本公开提供一种声波谐振器及制造声波谐振器的方法。所述声波谐振器包括:基板;谐振部,形成在所述基板的第一表面上;金属焊盘,通过形成在所述基板中的通路孔连接到所述谐振部;及保护层,设置在所述基板的第二表面上并且包括多个层,其中,所述多个层包括内保护层,所述内保护层直接接触所述基板的所述第二表面,并且由具有比所述多个层中的其他层的粘附力强的粘附力的绝缘材料形成。

    声波装置及制造声波装置的方法

    公开(公告)号:CN108933577A

    公开(公告)日:2018-12-04

    申请号:CN201711426177.8

    申请日:2017-12-26

    CPC classification number: H03H3/08 H03H9/059 H03H9/10

    Abstract: 本发明提供一种声波装置及制造声波装置的方法。所述声波装置包括:声波产生器,形成在基板的一个表面上;支撑构件,设置在所述基板的所述一个表面上,并与所述声波产生器分开;保护构件,结合到所述支撑构件并设置为与所述声波产生器分开;以及密封部,包封所述保护构件和所述支撑构件,其中,所述密封部包括一个或更多个第一气密层和一个或更多个第二气密层,并且所述第一气密层和所述第二气密层交替地堆叠。

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