衍射薄膜压电微镜及其制造方法

    公开(公告)号:CN1614458B

    公开(公告)日:2010-05-12

    申请号:CN200410089738.6

    申请日:2004-11-03

    CPC classification number: G02B26/0808 G09F9/372

    Abstract: 公开了一种衍射微镜及其制造方法。更具体,本发明属于以压电工作方式工作的衍射薄膜压电微镜及其制造方法,以保证优良的位移、工作速度、可靠性、线性度及低压工作。该衍射薄膜压电微镜包括其上形成凹部以为其中心提供气隙的硅衬底,以及具有带状的压电镜面层,在其两端沿凹部的两端粘附到硅衬底,同时在其中心部分与凹部的底部隔开,以及包括当电压施加到压电材料层时在其中心部分可垂直移动且因此衍射入射光束的薄膜压电材料层。

    基于开孔的衍射光调制器

    公开(公告)号:CN1854796A

    公开(公告)日:2006-11-01

    申请号:CN200510120099.X

    申请日:2005-11-02

    Inventor: 尹相璟

    CPC classification number: G02B26/0808 G02B5/1828

    Abstract: 本发明涉及衍射光调制器。具体地,本发明涉及基于开孔的衍射光调制器。在该调制器中,在基座构件上设置下部反射部件,穿过从基座构件突起的上部微型反射镜形成开孔,使得使用具有带状上部微型反射镜形的一个单元形成一个像素。

    使用光调制器的扫描设备

    公开(公告)号:CN1614986A

    公开(公告)日:2005-05-11

    申请号:CN200410089737.1

    申请日:2004-11-03

    Inventor: 尹相璟 申东浩

    CPC classification number: G02B26/106 G02B26/0808

    Abstract: 本发明涉及一种其使用光调制器的扫描设备。该扫描设备同时且水平的对光敏元件上的其是由于激励单元为响应外部所施加的驱动能量而闭合/断开所形成的多个衍射光束进行扫描。该扫描设备包括第一透镜单元,该第一透镜单元用于将光源所发射出的单光束转换成准直光并且发射出该准直光;光调制装置,该光调制装置包括多个其通过驱动能量而闭合/断开的激励单元,该光调制装置对单光束进行衍射并且进行调制以通过激励单元的闭合/断开操作而形成了多个衍射光束;过滤装置,该过滤装置可有选择的使光调制装置所形成的多个衍射光束当中其具有至少一个预定衍射系数的衍射光束通过该过滤装置;以及第二透镜单元,该第二透镜单元使其穿过过滤装置的多个衍射光束聚焦在光敏元件上。

    用于校准反射镜的设备和方法

    公开(公告)号:CN101216602A

    公开(公告)日:2008-07-09

    申请号:CN200710195463.8

    申请日:2006-06-09

    Inventor: 尹相璟 安承道

    Abstract: 一种用于测量衍射光调制器的镜的位置并执行补偿或校准的设备,包括:光源,用于产生光并发射光;衍射光调制器,用于当驱动信号输入时通过调制从光源入射的光来产生衍射光;驱动装置,用于将驱动信号输出到衍射光调制器;光量检测装置,用于测量由衍射光调制器发射的衍射光的量;以及校正数据计算装置,用于当测试者基于从光量检测装置输出的衍射光的量来设定参考电压范围时,使用由光量检测装置获得的衍射光的量来计算基于像素的校正数据。

    基于开孔的衍射光调制器

    公开(公告)号:CN1693936A

    公开(公告)日:2005-11-09

    申请号:CN200410097399.6

    申请日:2004-11-29

    Inventor: 尹相璟

    CPC classification number: G02B26/0808

    Abstract: 本发明一般地涉及一种衍射光调制器,更具体地说,本发明涉及一种基于开孔的衍射光调制器,它包括:下部微型反射镜,位于硅衬底上;以及上部微型反射镜,由多个与硅衬底分离的开孔提供,因此允许在硅衬底上沉积上部微型反射镜和下部微型反射镜,从而形成像素。

    基于开孔的衍射光调制器
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100485443C

    公开(公告)日:2009-05-06

    申请号:CN200510120099.X

    申请日:2005-11-02

    Inventor: 尹相璟

    CPC classification number: G02B26/0808 G02B5/1828

    Abstract: 本发明涉及衍射光调制器。具体地,本发明涉及基于开孔的衍射光调制器。在该调制器中,在基座构件上设置下部反射部件,穿过从基座构件突起的上部微型反射镜形成开孔,使得使用具有带状上部微型反射镜形的一个单元形成一个像素。

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