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公开(公告)号:CN102644095B
公开(公告)日:2016-06-08
申请号:CN201110437882.4
申请日:2011-12-23
CPC classification number: C25D3/38 , C25D5/18 , C25D7/12 , C25D7/123 , C25D17/001 , H01L21/02 , H01L21/2885 , H01L21/76898
Abstract: 一种电镀铜方法,所述方法包括将衬底浸渍在电镀铜溶液中,所述衬底包括晶种层;以及在所述晶种层上形成电镀铜层,其中所述电镀铜溶液包含水、铜供应源、电解质材料和第一添加剂,所述第一添加剂包括由下式1表示的化合物:[式1]
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公开(公告)号:CN102644095A
公开(公告)日:2012-08-22
申请号:CN201110437882.4
申请日:2011-12-23
CPC classification number: C25D3/38 , C25D5/18 , C25D7/12 , C25D7/123 , C25D17/001 , H01L21/02 , H01L21/2885 , H01L21/76898
Abstract: 一种电镀铜方法,所述方法包括将衬底浸渍在电镀铜溶液中,所述衬底包括晶种层;以及在所述晶种层上形成电镀铜层,其中所述电镀铜溶液包含水、铜供应源、电解质材料和第一添加剂,所述第一添加剂包括由下式1表示的化合物。[式1]
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公开(公告)号:CN101801945A
公开(公告)日:2010-08-11
申请号:CN200880108119.3
申请日:2008-09-26
Applicant: 株式会社ADEKA
IPC: C07D301/16 , C07D303/04 , C07D493/08
CPC classification number: C07D301/16 , C07D303/04
Abstract: 本发明的目的是提供一种烯烃类的环氧化方法,该方法能够以高收率得到不含卤原子的环氧化合物。特别是,本发明提供一种烯烃类的环氧化用氧化剂组合物,其特征在于,该组合物含有酸酐和在水中溶解时显示碱性的过氧化物。
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公开(公告)号:CN105102687A
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201480019927.8
申请日:2014-03-19
Applicant: 株式会社ADEKA
IPC: C25D3/38
Abstract: 当通过电镀铜向存在微细的沟或孔(下文有时简称为沟槽)的被镀基体的沟槽中嵌入铜时,存在产生空隙和铜向沟槽以外析出的问题。本发明为了解决上述问题,提供一种电镀铜浴用添加剂,其含有选自下述通式(1)或下述通式(2)表示的高分子化合物中的至少1种的、重均分子量为20,000~10,000,000的高分子化合物。(式中,X表示选自由特定结构表示的单元中的至少1个单元,a和b的比例为a:b=10:90~99:1的范围)。
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