光调制器
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102135671B

    公开(公告)日:2015-08-26

    申请号:CN201010593275.2

    申请日:2010-12-17

    Abstract: 本发明公开了基于法布里-珀罗谐振反射的具有宽带宽的光调制器。该光调制器包括:底部分布布喇格反射器(DBR)层;包括至少一层和改性层的顶部DBR层;以及设置在底部DBR层和顶部DBR层之间的有源层,其中所述至少一层包括至少一对具有第一折射系数的第一折射系数层和具有第二折射系数的第二折射系数层,所述改性层包括至少一对具有第三折射系数的第三折射系数层和具有第四折射系数的第四折射系数层,所述第三折射系数与所述第四折射系数不同,以及所述第三折射系数层和所述第四折射系数层二者中的至少一个具有第二光学厚度,该第二光学厚度既不是λ/4,也不是λ/4的奇数倍。

    光调制器
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102135671A

    公开(公告)日:2011-07-27

    申请号:CN201010593275.2

    申请日:2010-12-17

    Abstract: 本发明公开了基于法布里-珀罗谐振反射的具有宽带宽的光调制器。该光调制器包括:底部分布布喇格反射器(DBR)层;包括至少一层和改性层的顶部DBR层;以及设置在底部DBR层和顶部DBR层之间的有源层,其中所述至少一层包括至少一对具有第一折射系数的第一折射系数层和具有第二折射系数的第二折射系数层,所述改性层包括至少一对具有第三折射系数的第三折射系数层和具有第四折射系数的第四折射系数层,所述第三折射系数与所述第四折射系数不同,以及所述第三折射系数层和所述第四折射系数层二者中的至少一个具有第二光学厚度,该第二光学厚度既不是λ/4,也不是λ/4的奇数倍。

    微纳米组合结构物及其制备方法及光学器件的制备方法

    公开(公告)号:CN103038671A

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN201180037591.4

    申请日:2011-07-29

    Inventor: 宋泳旻 李用卓

    CPC classification number: G02B1/11 B82Y20/00 G02B1/118 H01L21/302 H01L33/44

    Abstract: 本发明涉及微纳米组合结构物、微纳米组合结构的制备方法及由微纳米组合结构集成的光学器件的制备方法,上述微纳米组合结构的制备方法包括以下步骤:在基板上形成微结构的步骤;在形成有上述微结构的基板上蒸镀金属薄膜的步骤;对上述金属薄膜进行热处理使其变形为金属粒子的步骤;以及将上述金属粒子作为掩模对形成有上述微结构的基板的整面进行刻蚀,以便在形成有上述微结构的基板的上表面形成具有光波长以下的周期且末端尖锐的楔形的无反射纳米结构的步骤,从而具有不仅制备工序简单、能够将由空气与半导体物质之间的折射率之差引起的光的反射量最小化,还能够容易适用于光学器件领域的效果。

    制备抗反射纳米结构的方法以及光学器件的制备方法

    公开(公告)号:CN103053034A

    公开(公告)日:2013-04-17

    申请号:CN201080068388.9

    申请日:2010-11-30

    CPC classification number: H01L33/005 B81C1/00031 H01L33/22

    Abstract: 本发明提供一种制备抗反射纳米结构的方法以及由该抗反射纳米结构集成的光学器件的制备方法。该制备抗反射纳米结构的方法包括:在基板上涂覆含金属离子与有机或者无机离子的结合物的溶液;采用退火工艺烧结所涂覆的溶液,来生长纳米级金属粒子;以及采用金属粒子作为掩模或者催化剂对基板进行化学刻蚀,来在基板的表面上形成亚波长纳米结构,由此采用简单的方法在短时间内制备出抗反射纳米结构而不用真空设备,来将半导体材料与空气之间的界面处的光反射最小化,且通过将该抗反射纳米结构应用于光学器件而以低成本制备大量具有良好发光效率及性能的光学器件。

Patent Agency Ranking