等离子体导流板、衬底处理装置以及衬底处理方法

    公开(公告)号:CN116564782A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202211386948.6

    申请日:2022-11-07

    Abstract: 公开的是等离子体导流板、衬底处理装置和衬底处理方法。所述等离子体导流板包括:下环;上环,所述上环在俯视图中位于所述下环外部并且垂直地延伸;以及中间环,所述中间环从所述下环延伸到所述上环以相对于水平方向形成锐角。所述下环包括:下中央孔,所述下中央孔垂直地穿过所述下环的中心;以及多个下狭缝,所述多个下狭缝位于所述下中央孔外部并且垂直地穿透所述下环。所述中间环提供将所述中间环的内侧表面连接到所述中间环的外侧表面的中间狭缝。所述多个下狭缝与所述下环的面积比等于或大于大约59%。

    无线功率接收器
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107005089B

    公开(公告)日:2020-06-23

    申请号:CN201580066393.9

    申请日:2015-12-10

    Abstract: 公开了一种无线功率接收器。根据本公开的各种实施方式的无线功率接收器包括:被配置为通过谐振方案接收无线功率的谐振接收单元;被配置为通过感应方案接收无线功率的感应接收单元;以及被配置为处理在谐振接收单元和感应接收单元处接收到的无线功率的功率处理单元。当通过感应方案接收无线功率时,在感应接收单元中流动的电流大于在谐振接收单元中流动的电流,并且当通过谐振方案接收无线功率时,在谐振接收单元中流动的电流大于在感应接收单元中流动的电流。

    无线功率发射/接收设备
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106797144A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201580053549.X

    申请日:2015-09-09

    Abstract: 描述了一种无线功率发射/接收的设备、系统和方法。在一个无线功率发射/接收设备中,能够产生磁场的平面谐振器具有安装在其上的一个或多个铁氧体构件,使得由所述平面谐振器产生的磁场具有与铁氧体的开口/面(即与平面谐振器的平面)基本上倾斜或平行的总方向。在无线功率接收设备中,当通过外部磁场使平面谐振器谐振时,所述平面谐振器产生磁场和感应电流;在无线功率发射设备中,当向所述平面谐振器供电时,所述平面谐振器产生磁场。

    无线功率发送方法和设备

    公开(公告)号:CN108093664B

    公开(公告)日:2021-07-30

    申请号:CN201680052006.0

    申请日:2016-09-09

    Inventor: 金蜂澈 金道源

    Abstract: 本公开涉及无线功率发送方法和设备。本发明可以提供由无线功率发送器无线地发送功率的方法,该方法包括以下步骤:向无线功率接收器发送具有第一等级的功率,其中具有第一等级的功率是基于电连接到无线功率接收器的负载的最大负载功率等级而确定的;从无线功率接收器接收关于根据负载的负载等级变化的使用负载功率等级的信息;以及根据接收到的关于使用负载功率等级的信息来控制发送到无线功率接收器的功率的等级。

    无线功率发射/接收设备
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106797144B

    公开(公告)日:2020-09-29

    申请号:CN201580053549.X

    申请日:2015-09-09

    Abstract: 描述了一种无线功率发射/接收的设备、系统和方法。在一个无线功率发射/接收设备中,能够产生磁场的平面谐振器具有安装在其上的一个或多个铁氧体构件,使得由所述平面谐振器产生的磁场具有与铁氧体的开口/面(即与平面谐振器的平面)基本上倾斜或平行的总方向。在无线功率接收设备中,当通过外部磁场使平面谐振器谐振时,所述平面谐振器产生磁场和感应电流;在无线功率发射设备中,当向所述平面谐振器供电时,所述平面谐振器产生磁场。

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