公开(公告)号：CN101307435A

公开(公告)日：2008-11-19

申请号：CN200810125874.4

申请日：2008-01-14

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 南太永 ,  金兑壕 ,  金镐旺 ,  李相坤 ,  安炳浩 ,  金炯求

IPC: C23C16/18 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  H01L21/00 ,  H01L21/3205

CPC classification number: C23C16/4485 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明提供一种液体供给单元和供给方法、处理基板的设备及处理方法。在液体供给单元中，通过使用提供到缓冲容器的气体压缓冲容器中存在的液体，液体从缓冲容器提供到外部单元。提供压强测量部件来测量缓冲容器内的压强，在缓冲容器的再填充期间当缓冲容器内的压强等于或大于预设参考压强时，气体通过排出管线从缓冲容器排出。

公开(公告)号：CN100356541C

公开(公告)日：2007-12-19

申请号：CN02132256.2

申请日：2002-09-04

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金秉住 ,  黄寅奭 ,  李浩烈 ,  卞守珉 ,  金炯求 ,  池俊洙

IPC: H01L21/66 ,  G01R1/073 ,  G01R31/28

CPC classification number: B24B19/16 ,  B08B1/00 ,  G01R3/00

Abstract: 本发明揭示了一种用于从集成电路测试探针设备测试探针板的多个电接点上，清洁碎屑和残渣的设备及其使用方法，该设备优先包括具有槽形表面的硅片，可以移动该测试探针板以实现压力接触。槽形表面提供了一种栅形结构，这种栅形结构与所实现的压力电接触结合，可以破碎夹杂或粘附的任何残渣颗粒，然后，将这些颗粒破碎为更小颗粒并从探针板上脱落。利用各种测量传感器对探针板的压力和相对运动进行控制。

公开(公告)号：CN1466182A

公开(公告)日：2004-01-07

申请号：CN02132256.2

申请日：2002-09-04

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金秉住 ,  黄寅奭 ,  李浩烈 ,  卞守珉 ,  金炯求 ,  池俊洙

IPC: H01L21/66 ,  G01R1/073 ,  G01R31/28

CPC classification number: B24B19/16 ,  B08B1/00 ,  G01R3/00

Abstract: 本发明揭示了一种用于从集成电路测试探针设备测试探针板的多个电接点上，清洁碎屑和残渣的设备及其使用方法，该设备优先包括具有槽形表面的硅片，可以移动该测试探针板以实现压力接触。槽形表面提供了一种栅形结构，这种栅形结构与所实现的压力电接触结合，可以破碎夹杂或粘附的任何残渣颗粒，然后，将这些颗粒破碎为更小颗粒并从探针板上脱落。利用各种测量传感器对探针板的压力和相对运动进行控制。